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半導體真空腔體的應用

中國半導體真空腔體市場近幾年快速發展,越來越多的公司也表達了進入芯片領域的興趣.以存儲芯片為例,以前中國國內存儲芯片完全靠進口,今年福建晉華集成電路的內存生產線有望投產,另外長江存儲科技公司也在建設內存和閃存芯片生產線.格力、康佳等傳統家電企業也表示,將進入芯片領域.

據國際半導體設備與材料協會報告顯示,中國目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區打造25個FAB建設項目,福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業技術水平雖不及韓國,但均已投入芯片量產.報告預測,今年中國半導體設備市場規模有望達118億美元,實現同比43.9%的增長,并且明年市場規模有望擴大至173億美元,增長46.6%,成為大市場.而同一時期內韓國的半導體設備市場規模從179.6億美元減少至163億美元,減幅為9.2%.中國超越韓國成為全球很大半導體設備市場.

真空腔體

真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面.在真空技術發展中,這四個方面的技術是相互促進的.

隨著真空獲得技術的發展,真空應用日漸擴大到工業和科學研究的各個方面.真空應用是指利用稀薄氣體的物理環境完成某些特定任務.有些是利用這種環境制造產品或設備,如燈泡、電子管和等. 這些產品在使用期間始終保持真空,而另一些則只是把真空當作生產中的一個步驟,產品在大氣環境下使用,如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等.

真空的應用范圍極廣,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應用.

真空腔體除塵過濾方式及過濾裝置大家了解多少呢？

有些真空工藝會產生大量的塵土，如果塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損，對泵轉子和泵腔造成磨損和損壞，堵塞油路或使泵無法運轉，如果塵土進入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵土的規避和過濾己成為增加真空腔體的使用壽命，增加生產率的關鍵問題，在有塵土的真空系統中，要采用塵土過濾器。低真空主要應用于隔熱及絕緣、金屬熔煉脫氣、無氧化加熱、真空冷凍及干燥和低壓風洞等。

在塵土量較少時，可以由泵油過濾系統濾除，但塵土量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常運轉要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說常用塵土過濾方法有以下幾種：

（1）旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置，塵土隨氣流旋轉，因離心力效果而沉降在過濾器的底部。

（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流相互效果吸附，混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。

（3）油濕介質粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質外表而被粘附，常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。

（4）介質阻撓式。使用介質的機械阻撓效果過濾塵土，常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。

（5）靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構成等離子體，塵土在等離子體中附著電荷，在電場力效果下被驅向電極外表而集。

（6）混合式。將以上幾種過濾形式進行組合構成混合的過濾形式。