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發(fā)布時間：2020-12-06 14:02
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什么是化學氣相沉積？
化學氣相沉積是一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。等離子刻蝕檢驗原理為冷熱探針法，具體方法如下：熱探針和N型半導體接觸時，傳導電子將流向溫度較低的區(qū)域，使得熱探針處電子缺少，因而其電勢相對于同一材料上的室溫觸點而言將是正的?；瘜W氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術。化學氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程準確控制。化學氣相淀積已成為無機合成化學的一個新領域。
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化學氣相沉積的特點有哪些？
? 高溫石英管反應器設計
? 溫度范圍：室溫到1100度
? 多路氣體準確控制
? 標準氣壓計
? 易于操作
? 可配機械泵實現(xiàn)低壓TCVD
? 可用于制備金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬薄膜
? 液體前驅體噴頭
沈陽鵬程真空技術有限責任公司本著多年化學氣相沉積行業(yè)經(jīng)驗，專注化學氣相沉積研發(fā)定制與生產，先進的化學氣相沉積生產設備和技術，建立了嚴格的產品生產體系，想要更多的了解，歡迎咨詢圖片上的熱線電話！??！
