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              varian真空分子泵性能滿意的選擇 廣東潽拓光電

              發布時間:2021-09-29 20:03  

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              廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。

              這種泵通常在分子流狀態下工作。



              分子泵的原理

                     分子泵是一種動量型真空獲得設備,子分子流態下,氣體分子與高速運動的表面發生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。



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              Varian TV301分子泵有四種規格,分別為

              1. Varian TV 301 ISO100-K

              2.Varian TV301 ISO160-K

              3.Varian TV301 Cf100

              4.Varian TV301 CF160




              分子泵在半導體行業的應用

              半導體行業是全球信息化產業的基石,無論從科技或是經濟發展的角度來看,重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數據、物聯網等新興技術的發展源源不斷地給半導體行業注入嶄新活力。真空技術作為一門與應用科學緊密結合的現代基礎科學,在半導體行業有著廣泛的應用。其中,分子泵作為很多半導體制造設備的零部件之一,廣泛應用于IC生產制造的各個工藝。那你還知道分子泵在半導體行業中有哪些應用嗎?對不同用途的分子泵(比如耐高溫,耐震動,耐腐蝕)擁有豐富的設計經驗和應用經驗。想了解更多可以關注我們廣州潽拓光電科技有限公司 varian真空分子泵性能

              薄膜沉積設備薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜,這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成,是使用多種工藝生長或沉積的。通用的沉積技術有化學氣相淀積(CVD)、蒸發和濺射PVD。一般來說,其中還要夾雜低溫(≤500℃)退火工藝等熱處理工藝,用以增進金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內應力等。設備運行過程中需要高潔凈的真空環境,一般采用以磁懸浮分子泵為主的無油真空系統。廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設備研制、生產、銷售、工程安裝及售后維修服務于一體的綜合性企業,由從事多年真空系統開發,真空設備技術研發,維修工程師,工程師組成的一支技術實力雄厚,充滿活力的高素質團隊。 varian真空分子泵性能


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