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廢氣處理工作繁瑣、過程多變，但就工藝原理而言，概述為活性炭吸附法、低溫等離子體法、光催化氧化法、生物處理法、燃燒法，活性炭吸附塔作為反應的終端和收尾，活性炭由于具有的巨大比表面積和特殊的化學結構、晶體結構，對廢氣有很強的吸附和吸收能力。活性炭吸附是將廢氣由排氣風機送吸附床，有機廢氣在吸附床被活性炭吸附而使氣體得到凈化，凈化后的氣體排向大氣即完成凈化過程

一般工廠的廢氣都比較復雜，如含硫、含氮的廢氣，也會有含炭的有機廢氣，而無機廢氣和有機廢氣因為理化性質的不同，需要區別對待。非穩態法是利用轉化器觸媒蓄熱，周期性改變送氣方向，使觸媒兩端交替放熱與蓄熱，從而實現低濃度SO2煙氣制酸的自熱平衡。在實際處理工業VOCs過程中，這種低溫等離子體技術設備對有機廢氣的降解基本無效和會生成污染副產物，其降解效率較低，

工業廢氣含有有機化合物、硫化物、氟化物等化學物質，這些物質嚴重危害人體健康，很大程度上增加呼吸道相關的發病率。廢氣處理工作繁瑣、過程多變，但就工藝原理而言，概述為活性炭吸附法、低溫等離子體法、光催化氧化法、生物處理法、燃燒法，熱力燃燒法適用于可燃有機物質含量較低的廢氣的凈化處理，燃燒凈化處理技術中熱效率很高，設備使用壽命長，抗老化，耐腐蝕。