真空退火爐采購常用解決方案“本信息長期有效”

退火爐

湘潭華宇電爐制造有限公司是各類工業(yè)電爐的專業(yè)生產(chǎn)廠家，公司湘潭華宇電爐制造有限公司積數(shù)十年開發(fā)生產(chǎn)工業(yè)電爐成套設(shè)備的經(jīng)驗(yàn)，擁有雄厚的技術(shù)力量及非標(biāo)設(shè)備的設(shè)計、制造能力，產(chǎn)品用戶遍布全國各地。近幾年積累了豐富的不銹鋼結(jié)構(gòu)件的加工經(jīng)驗(yàn)，具有較強(qiáng)的不銹鋼結(jié)構(gòu)件的加工能力。

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的。可以加熱晶片以摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐特點(diǎn)

1、材料整個退火工藝過程都置于保護(hù)氣氛中，經(jīng)退火的工件表面光亮無氧化，材料表面不脫碳氧化。

　　2、由于爐內(nèi)保護(hù)氣由風(fēng)機(jī)強(qiáng)對流循環(huán)，爐溫均勻，使?fàn)t內(nèi)溫差控制在5℃以內(nèi)；從而有效保證爐內(nèi)所有退火材料軟硬一致，便于材料深加工。

　　3、采用雙爐座升溫、冷卻，準(zhǔn)連續(xù)作業(yè)模式。爐體結(jié)構(gòu)科學(xué)合理，節(jié)能效果明顯，噸鋼能耗低國內(nèi)。單爐裝容達(dá)90噸，生產(chǎn)。

　　4、經(jīng)該型爐處理的材料表面光亮，免除酸洗工藝，潔凈工作環(huán)境，消除了酸污染。

　　5、整套設(shè)備全部微機(jī)控制，自動化程度高，能有效保證產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備安全運(yùn)行。

　　適用范圍：1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。3、標(biāo)準(zhǔn)件、鏈條、機(jī)械零部件等散件光亮退火。

真空退火爐主要結(jié)構(gòu)形式

主要結(jié)構(gòu)形式：該爐主要由爐罩、爐罩驅(qū)動機(jī)構(gòu)、節(jié)能型全纖維耐火爐襯、高溫高輻射電熱元件、軟密緊機(jī)構(gòu)、爐臺、爐臺導(dǎo)電電極箱、智能PID溫度程序控制系統(tǒng)等主要部分組成。5.1．爐罩殼體：主要采用國標(biāo)型鋼骨架及鋼板焊接而成，保證了爐子的密封性能及足夠的剛強(qiáng)度，且所有焊縫均勻平滑，無氣孔、夾雜、未熔合等缺陷，爐殼外觀平直、美觀。爐殼外電熱元件引出棒集中分布，并外設(shè)防護(hù)罩。

退火爐的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)： 加熱室采用不銹鋼骨架，隔熱屏為多層石墨氈，使用壽命長，易維護(hù)。采用石墨管加熱器，易安裝維護(hù)，故障率低。氣冷系統(tǒng)有大功率高速電機(jī)、大風(fēng)量高壓葉輪、蝸殼及導(dǎo)流板、銅管銅串片換熱器和導(dǎo)流裝置等組成，可實(shí)現(xiàn)氣流有換熱器-風(fēng)機(jī)-導(dǎo)流裝置-工件-換熱器的高速循環(huán)，以使工件得到快速均勻的冷卻。加熱室也可以采用全金屬結(jié)構(gòu)。電控系統(tǒng)采用PLC與可編程溫度控制器的方式，實(shí)現(xiàn)全自動、半自動、手動三種控制方式，操作靈活。