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鍍膜技術在光學儀器中的應用

      人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀，以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離不開鍍膜技術，鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。

   

1. 真空

在空間內，低于環境大氣壓力的氣體狀態。

2. 真空度

表示真空狀態下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。

3. 真空區域劃分

低真空 105Pa-102Pa

中真空 102Pa-10-1Pa

高真空 10-1Pa-10-5Pa

超高真空 10-5Pa-10-9Pa

極高真空 <10-9Pa

4. 全壓力

混合氣體中所有組分壓力的綜合。

真空鍍膜機是指需要在各種高真空狀態下進行的涂層，包括真空離子蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積組成。

真空鍍膜機也是目前制造真空條件使用的真空設備，一般由真空室、真空機、電控盒三部分組成。鍍膜設備的清洗：設備使用一周后，涂層材料不僅涂在工件表面，而且由于不定向，還涂在工作室的襯板上，涂層厚度越來越厚。這一層的膜厚由于組織和纏繞而松散，吸收了大量氣體，導致真空鍍膜設備泵送越來越慢，所以這個時候工作室和襯板都要清理干凈。如果不必要地拆下零件，可以用砂紙打磨。而對于空間紅外輻射，普通玻璃雖能阻止室內的熱量直接透過室外，但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。

真空鍍膜設備膜層附著力不良：(1)鍍件除油脫脂不干凈。應加強鍍前處理。怎么保證真空鍍膜設備鍍膜效果與質量真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。(2)真空室內不清潔。應清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手或不干凈的物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度，這是提高膜層結合力的重要措施之一。(3)夾具不清潔。應清洗夾具。(4)底涂料選用不當。應更換涂料。(5)濺射工藝條件控制不當。應改進濺射工藝條件。