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熱破壞是目前廣泛使用的廢氣處理方法，特別是對于低濃度有機廢氣，有機廢氣的熱破壞可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒是有機廢氣在氣流中直接燃燒和輔助燃料燃燒的一種方法。在大多數情況下，有機物的濃度很低，在沒有輔助燃料的情況下可以燃燒。在適當的溫度和停留時間下，直接火焰燃燒可以達到99%的熱處理效率。

催化燃燒是在氣流中加熱有機廢氣后，在催化床的作用下加速有機物化學反應(或破壞效率)的一種方法。催化劑的存在使得有機物在熱破壞過程中比直接燃燒法需要更少的停留時間和更低的溫度。催化劑在催化燃燒系統中起著重要的作用。

常見廢氣處理方法：

1）主要來源：工業生產中會產生各種有機物廢氣，主要包括各種烴類、醇類、醛類、酸類、酮類和胺類等。這些廢氣的來源十分廣泛，其中一些化學行業石化、有機合成反應設備排氣，印刷行業印墨中溶劑，機械行業機械噴漆，金屬制品產生的氣味，汽車行業汽車的噴漆、干燥爐鑄件生產設備排氣，五金、家私廠噴涂設備排氣等。

2）有機廢氣的危害：在生產中,有機廢氣的排放一直是一個很突出的問題，絕大多數有機廢氣對人體的健康都有害。如有機廢氣通過呼吸道和皮膚進入人體后,能給人的呼吸、血液、等系統造成暫時性和病變,尤其是苯并芘類多環芳烴能使人體直接致癌,危害人體健康。

工廠如果長時間停用廢氣處理設備，為了防止意外發生，一定要拔掉電源插頭。當再次啟動設備時，應當同步運行生產設備和廢氣處理設備。為了實時掌握設備運行狀況，建議在設備的排放口、各類指示表和噴淋觀察窗等部位附近裝上視頻監控系統，實時地查看設備運行情況和排放情況。廢氣處理設備的系統管路如果使用的原材料為易導致靜電感應的塑料，這樣在菱形和三通管件處非常容易導致靜電感應現象，為了防止發生機械故障，應做好設備的防靜電防范保護措施。