真空磁控濺射鍍膜設備按需定制【至成真空科技】

真空鍍膜機的真空室該如何設計呢?

真空鍍膜機相比大家都存有疑惑，今天來討論一下的是關于真空鍍膜設備真空室的設計問題，要是您有興趣了解的話可以和寶瑞鈦金一起來看看下面的內容。

真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設備的一個主要組成部位，真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性，結構必須要合理，真空設備的材料生產都是在真空室內進行的，材料對真空度的影響要小，設計不能馬虎，要注意一些問題。

多弧離子真空磁控濺射鍍膜機工作原理蒸發系統的結構與工作原理介紹

多弧離子鍍膜機是一種、無害、無污染的離子鍍膜設備，具有堆積速度快、離化率高、離子能量大、設備操作簡略、本錢低、出產量大的長處。

真空多弧離子鍍膜機偏壓電源的作業原理

離子鍍膜正本是離子濺射鍍膜，關于導電靶材，運用直流偏壓電源；非導電靶材，運用脈沖偏壓電源。有的多弧離子鍍膜機，可能還需求直流電弧電源或脈沖電弧電源

偏壓電源正本即是在陰極和樣品所在位置的陽極之間構成偏壓電場，通常是陰極加負高壓。陰極外表的自由電子在電場效果下定向加快發射，發射電子炮擊氣體分子，使之電離，并且氣體被驅出的電子被電場加快，持續電離別的氣體分子，接二連三，構成雪崩效應，氣體被擊穿，構成穩定的電離電流。此刻離子也被加快，炮擊靶材，將靶材中的原子驅除出外表，并堆積在樣品外表。

真空磁控濺射鍍膜機的維護保養及安全工作措施

真空卷繞鍍膜機的維護保養及安全工作措施如下：

1、設備接地必須可靠，并經常檢查接地裝置導電作用。

2、擴散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化。

3、定期檢查和調整水流繼電器，檢查斷水報警是否正常，保證設備冷卻水供水暢通。

4、擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水，泵停止工作，但泵內未冷卻至80℃以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。

5、鍍膜工作前必須接通全部設備冷卻水，以防止電極和基材燒毀。

6、在拆裝設備各零部件時，應注意保護各密封工作面不受機械劃傷或損傷，以保證設備密封性能可靠。

7、設備各傳動轉軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內腔均充以潤滑油。使用一段時間就會損耗，必須以相同的潤滑油充入。

8、經常檢查羅茨泵和滑閥泵的存油量，并定期予以補充。同時按其說明書的要求進行維護保養。

9、定期檢查各行程開關控制器，保證各工作部件處于正常工作狀態。

10、每天應對滑閥泵和氣源進行排水。

11、定期檢查各減速器的儲油量及油質。

維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作

維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作 首先我們要保證鍍膜機與地面充分接觸，擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴散泵和增壓泵停止工作，維持泵半小時后才能關，1小時后斷水，但泵內未冷卻至80℃以下時，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。 擴散泵和增壓泵各留有備用水出口，若鍍膜機故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴散泵和增壓泵，鍍膜工作前必須接通全部設備冷卻進水，以防止電極和基體材料燒毀。設備各傳動轉軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴散泵油。使用一段時間即會損耗，必須以相同的真空油脂和擴散泵油充入，決不能用其他油品代替。