檢漏設(shè)備生產(chǎn)廠家常用解決方案 深圳銳誠(chéng)真空公司

氦檢漏設(shè)備簡(jiǎn)介

中文名:真空檢漏

拼音:zhenkong jianlou

英文名:vacuum leak detection

真空系統(tǒng)、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊縫、機(jī)械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等缺陷，外部大氣通過(guò)這些缺陷進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)部，致使系統(tǒng)、容器或器件達(dá)不到預(yù)期的真空度，這種現(xiàn)象稱為漏氣。造成漏氣的缺陷稱為漏孔。漏孔尺寸微小、形狀復(fù)雜，無(wú)法用幾何尺寸表示，因此在真空技術(shù)中用漏率來(lái)表示漏孔的大小。漏率是指單位時(shí)間內(nèi)漏入系統(tǒng)的氣體量，其單位為帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門(mén)技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過(guò)程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

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高壓開(kāi)關(guān)檢漏——氦質(zhì)譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術(shù)條件和安全性。高壓開(kāi)關(guān)設(shè)備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質(zhì)，產(chǎn)品要求開(kāi)關(guān)內(nèi)部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產(chǎn)過(guò)程中就要對(duì)部件以及出廠整機(jī)做檢漏，高壓電器采用的氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認(rèn)同。

鹵素檢漏儀檢漏是過(guò)去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達(dá)不到要求，導(dǎo)致返工，不但浪費(fèi)了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質(zhì)譜檢漏儀彌補(bǔ)了傳統(tǒng)檢漏的不做，同時(shí)可以檢漏漏點(diǎn)和漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的：

1.對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦，同時(shí)觀察漏率顯示，一大增大，就說(shuō)明工件不合格。

2.對(duì)于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下，關(guān)掉抽氣閥，打開(kāi)檢漏閥，進(jìn)行檢漏。漏率超過(guò)值即為不合格。

3.對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過(guò)規(guī)定值即為有漏。

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氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術(shù)在我國(guó)經(jīng)濟(jì)中占有非常重要的地位，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車(chē)等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測(cè)靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無(wú)毒性、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中，常見(jiàn)的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因?yàn)榧冩u絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴(kuò)展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過(guò)程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯(cuò)能量，降低位錯(cuò)移動(dòng)的晶界阻抗，從而使位錯(cuò)遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險(xiǎn)，錸濃度高時(shí)的塑化效應(yīng)降低。

鎢錸絲具有高熔點(diǎn)，高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長(zhǎng)的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發(fā)脆斷，在有氫氣存在的情況下，會(huì)加速碳化。

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