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              常州天然氣價格量大從優(yōu)「新樺氣體」

              發(fā)布時間:2021-09-03 03:58  

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              特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工管理

              超凈的氣體輸送管道系統(tǒng),是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于集成電路器件生產(chǎn)、太陽能光伏電池生產(chǎn)PDF顯示器面板生產(chǎn)等微電子領(lǐng)域,特種氣體指出,該系統(tǒng)輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。




              隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。

              熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。





              2018年中國特種氣體行業(yè)市場下游需求總體保持穩(wěn)定

              我國特種氣體市場需求格局

              1 煉油行業(yè)產(chǎn)能過剩 影響對特種氣體需求

              我國煉油工業(yè)立足于滿足市場需求,并在2008年“油荒”后煉能增速有所加快,產(chǎn)能增長2億噸/年,使成品油市場保持供大于求的態(tài)勢。2015年,我國年石油加工及煉焦業(yè)城鎮(zhèn)固定資產(chǎn)投資規(guī)模大幅下降至2538.60億元,2016年略有回升,根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測分析報告》初步估算,2017年投資額再次下降為2688.34億元。

              未來我國將收緊對大煉油項目的審批,控制產(chǎn)能擴張,優(yōu)化區(qū)域布局,全國煉油能力控制在與市場需求匹配略寬松的總量,進一步化解煉油能力結(jié)構(gòu)性過剩的問題;著重科學(xué)引導(dǎo)地?zé)挵l(fā)展模式,順應(yīng)我國煉油業(yè)發(fā)展趨勢,積極進行產(chǎn)業(yè)升級,而不是單純的擴張產(chǎn)能,這在一定程度上將影響煉油行業(yè)對特種氣體的需求。




              工業(yè)氣體的使用和存放如何做好保障?

              工業(yè)氣體種類繁多,經(jīng)常用于各種工業(yè)制造方面。而在存放和使用方面,因為都是通過壓縮來處理的,所以對于它們的安全保障措施一定要做好。

              首先在使用之前要做好檢查工作,對于氣瓶應(yīng)該進行狀況檢測,包括外觀、安全附件、使用年限和檢驗標(biāo)志等等。在存放時,還要注意檢查檢驗日期,鋼印和有效期等,工業(yè)氣瓶的防震圈也是要查看的,至少保證無裂痕。

              存放時,因為工業(yè)氣體一般都具有、有毒等特性,所以存放場所應(yīng)該有一定的防護措施,夏季要防止暴曬,室外要注意這樣和遮雨,可以使用倉庫。對于存放空間里的照明燈具等要具有防爆特性,電源開關(guān)和熔斷器等應(yīng)該設(shè)置的室外,同時要安裝避雷設(shè)施。

              工業(yè)氣體存放場所要通風(fēng)、干燥,避免雨淋日曬,嚴(yán)禁明火和其他熱源,不能有任何管線通過。




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