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與常規熱處理相比，真空熱處理加工技術可同時實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

其實，真空熱處理加工技術在國外應用的較早，美國和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水劑淬火介質，從而，真空淬火技術在熱處理行業得到迅速發展，從單室爐發展到了多組合機群，從一般的真空淬火發展到高壓氣淬、真空水劑淬火、真空滲碳、真空碳氮共滲及多元共滲等。

零件的抗蝕性與抗高溫氧化性：表面熱處理可提高零件抗大氣腐蝕性能；鋼件滲鋁、滲鉻、滲硅后，與氧或腐蝕介質作用形成致密、穩定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保護膜，提高抗蝕性及高溫扛氧化性。

鋼件硬化的同時會帶來脆化。用表面熱處理方法提高表面硬度時，仍能保持心部處于較好的韌性狀態，是我們在進行使用時能夠強化本身的硬度，同時又為我們生產中帶來良好的發展。

冷卻也是熱處理工藝過程中不可缺少的步驟，冷卻方法因工藝不同而不同，主要是控制冷卻速度。一般退火的冷卻速度慢，正火的冷卻速度較快，淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求，例如空硬鋼就可以用正火一樣的冷卻速度進行淬硬。整體熱處理是對工件整體加熱，然后以適當的速度冷卻，以改變其整體力學性能的金屬熱處理工藝。鋼鐵整體熱處理大致有退火、正火、淬火和回火四種基本工藝。

時效處理主要用于消除坯料制造和加工中產生的內應力。為避免過度運輸工作量，對于一般精密零件，在整理前安排老化處理。但是，具有較高精度要求的零件應布置兩次或多次。除鑄件外，通常還可以使用簡單的零件。對于一些剛性較差的精密零件（如精密導螺桿），為了消除加工過程中產生的內應力并穩定零件的加工精度，通常將其布置在粗加工和半精加工之間。多次老化治。一些軸部件經過加工，矯直過程后也需要進行時效處理。