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體不斷地被抽進吸氣腔A，此時壓縮腔B空間的容積正逐漸減小，氣體壓力不斷地增大，同時與排氣口相通的排氣腔C的容積進一步地減小，排氣腔C的空間壓強進一步地升高，當氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，穿過油箱內的油層而排至大氣中。如圖二所示，在泵的連續運轉過程中，不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達到連續抽氣的目的。顯然轉子的轉速愈快，則泵的抽速愈大。機械泵的轉速一般在450~1400r/min之間，因為轉速太高，密封極為困難。排氣閥浸在油里，以防止大氣流人泵中。為保證吸氣腔和排氣腔之間不漏氣，除保證緊密接觸之外，還采用蒸氣壓力較低且有一定薪度的專用機械泵油，并使油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進人泵腔，使泵腔內所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封。此外機械泵油還起著潤滑和幫助在氣體壓強較低時打開排氣閥門的作用。同時機械泵油還可充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。

一、進口真空泵本身漏氣

1、密封圈漏氣。應當檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈。

2、氣鎮閥墊圈損壞，或未擰緊。應當更換墊圈并擰緊氣鎮閥。

3、排氣閥片損壞，密封不好。應當更換氣閥片。

4、進口真空泵中隔板壓入時量太大，導致真空泵腔變形而漏氣。應當修整真空泵腔或更換。

5、因為進口真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應拆開端蓋，檢查有沒有雜物或是不平整，并做好清洗或修理。

容器壓強---時間曲線如果真空爐的壓升率是種情況（曲線a ）,可以從以下幾種情況查找原因：

A ：機械泵抽氣速率過低或真空度不高。旋片泵的結構、工作原理及故障維修見機械泵的使用說明書。

B：羅茨泵抽氣速率過低或真空度不高。羅茨泵的結構、工作原理及維修間羅茨泵使用說明書。

C：K型高真空油擴散泵抽氣速率過低。K型高真空擴散泵的工作原理及注意事項見高真空油擴散泵使用說明書。