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發布時間：2021-10-14 08:35
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質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：
（1）氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量少（在空氣中約含5×10-6），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。
（2）氦的質量小（相對分子質量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。
（3）氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學反應，不會污染被檢件，使用安全。
（4）在氦兩側的離子是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，調氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。
（5）氦在被檢件及真空系統中不易被吸附，容易被抽走。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。
氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。
氦質譜檢漏儀進展集中體現如下方面：
1.智能化：以往的氦質譜檢漏儀操作非常輔助，而現在的觸屏式，自動檢測。
2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業提供小巧而靈敏性高的設備。
3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
氦質譜檢漏儀從以往的單方面領域的應用到現在多領域的應用，如：航空航天高科技工業、電力行業、電子行業、真空儀器儀表行業、核工業、制冷行業、不銹鋼保溫器皿等。其實氦質譜檢漏儀的領域應用廣發也是代表科技的一大進步，常見的氦質譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。
氦質譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于的結果，快速啟動，移動性和系統的可靠性。
氦質譜檢漏儀性能試驗方法
靈敏度及其校準
氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的小漏孔漏率。所謂“佳工作條件”是指儀器參數調整到佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統仍在正常抽氣。儀器的反應時間不大于3s。所謂“小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內輸出儀表的大波動量。
如果檢漏時用輔助系統抽氣(即對示漏氦氣有分流)。或用累積法檢漏時，給出儀器小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計檢漏效果。
濃度靈敏度校準系統中應用量計測出通過針閥2進入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。
氦質譜檢漏儀開機步驟
1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。
2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。
3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。
4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。
5、將工件用外接泵抽上真空后，開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節流閥。
