PECVD石墨舟廠家生產(chǎn)來電咨詢「在線咨詢」

材質(zhì)選用不同，其壽命也不同，氧化時間也會有所區(qū)別，一般，材質(zhì)差的真空爐石墨棒，在經(jīng)過發(fā)熱加溫的過程中，極速氧化，不耐用，表面氧化后，其凹凸不平，直到斷烈，密度高的石墨棒，才是好的選擇，如果經(jīng)濟條件允許的情況下，可以考慮選擇用進口石墨作原材料，進行加工石墨棒，這樣，其壽命大大的增加。如條件不允許，可選擇國產(chǎn)高密度的石墨作原材料，其壽命也很耐用，但長度也會受到限制。

PE鍍膜后四周發(fā)白淺析，近期經(jīng)常接到客戶咨詢，石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題，用了循環(huán)后，清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。

這次就問題發(fā)生的原因做一個說明，并且給大家一些解決方法。

一般來說我們機臺出現(xiàn)問題基本上為三類，偏紅，正常藍(lán)，偏白（對應(yīng)表中的淡藍(lán)色，無明確的白色膜厚，此時的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色，通過一定的化學(xué)反應(yīng)在片子表面生成一層膜。片子工藝結(jié)束后，就會得到我們需要的工藝顏色。

單層平板碾壓，雖然壓板平整光滑，但是不能太厚。一次成型太厚時，其均勻性和密度都難以保證。為了制成厚板，采用多層單板疊加，壓成多層復(fù)合板。每兩層之間要加粘結(jié)劑再碾壓成型。成型后要加熱處理，以使粘結(jié)劑碳化和硬化。多層平板碾壓法是在多層連續(xù)碾壓機上進行的。

多層連續(xù)碾壓機工作過程：由單板繞棍引出單板，經(jīng)過粘結(jié)劑涂輥把兩面土上粘結(jié)劑后，與繞輥和單板相合，成為三和厚板，進入輥的間隙碾壓成一定厚度。再送入加熱器中加熱烘干。通過厚度控制輥，調(diào)整厚度達(dá)到規(guī)定尺寸，然后送入焙燒裝置中焙燒。當(dāng)粘結(jié)劑碳化后，在用加壓輥加壓成型。

由于刀具的選用不同，所加工的石墨表面粗糙程序也不一樣，有些特殊的石墨工件，如熔金石墨坩堝，其表面都是要拋光的，否側(cè)會出現(xiàn)由于石墨坩堝表面粗糙程序不一樣，導(dǎo)致一些黃金熔液冷卻后粘在石墨上面，不好脫落，造成黃金的流失，所以，石墨表面拋光是很有必要的。

不同的石墨材料，其拋光性也不一樣，如果用的二浸三焙的料，怎么拋都達(dá)不到其表面靜面的效果，但如果改用三浸四焙的石墨材料的話，很容易就能達(dá)到效，所以石墨材料的選擇也是石墨拋光效果的一種。

一般情況下，我們都是在車床上面加以拋光，也就是我們所謂的人工拋光，人工的話用砂布先拋然后用棉布再拋再用綢布拋，用專用設(shè)備和砂帶也可以。