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真空技術是建立低于大氣壓力的物理環境，以及在此環境中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技術。

真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面。

在真空技術發展中，這四個方面的技術是相互促進的。

真空是相對于大氣壓來說的，并非空間沒有物質存在。用現代抽氣方法獲得的壓力，每立方厘米的空間里仍然會有數百個分子存在。氣體稀薄程度是對真空的一種客觀量度，直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數。

氣體分子密度越小，氣體壓力越低，真空就越高。但由于歷史原因，量度真空通常都用壓力表示。1真空常用帕斯卡（Pascal）或托爾（Torr）做為壓力的單位。

在1643年，意大利物理學家托里拆利發現，真空和自然空間有大氣和大氣壓力存在。他將一根一端封閉的長玻璃管灌滿，并倒立于槽中時，發現管中面下降，直至與管外的面相差76厘米時為止。托里拆利認為，玻璃管面上的空間是真空，76厘米高的柱是因為存在大氣壓力的緣故。

1650年，德國的奧托·馮·格里克制成活塞真空泵。1654年，他在馬德堡進行了的馬德堡半球試驗：用真空泵將兩個合在一起的、直徑為14英寸(35.5厘米)的銅半球抽成真空，然后用兩組各八匹馬以相反方向拉拽銅球，始終未能將兩半球分開。這個的試驗又一次證明，空間有大氣存在，且大氣有巨大的壓力。為了紀念托里拆利在科學上的重大發現和貢獻，以往習用的真空壓力單位就是用他的名字命名的。

19世紀中后期，英國工業革命的成功，促進了生產力和科學實驗發展，同時也推動了真空技術的發展。1850年和1865年，先后發明了柱真空泵和滴真空泵，從而研制成了白熾燈泡(1879)、陰極射線管(1879)、杜瓦瓶(1893)和壓縮式真空計(1874)。壓縮式真空計的應用使低壓力的測量成為可能。

20世紀初，真空電子管出現，促使真空技術向高真空發展。1935～1937年發明了氣鎮真空泵、油擴散泵和冷陰極電離計。這些成果和1906年制成的皮拉尼真空計至今仍為大多數真空系統所常用。1940年以后，真空應用擴大到核研究(回旋和同位素分離等)、真空冶金、真空鍍膜和冷凍干燥等方面，真空技術開始成為一個獨立的學科。第二次期間，原子物理試驗的需要和通信對高質量電真空器件的需要，又進一步促進了真空技術的發展。

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