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發布時間:2021-04-29 10:47  
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真空計是真空磁控濺射鍍膜機器上有什么作用
真空計:真空計是真空磁控濺射鍍膜機器上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據其工作原理可以分為真空計和相對真空計,真空計可以直接測量壓強的高低,相對真空計只能間接測量真空度。蒸發系統主要指成膜裝置部分,鍍膜機器的成膜裝置很多,有電阻加熱、電子槍蒸發、磁控濺射、射頻濺射、離子鍍等多種方式,鄙人就電阻加熱和電子槍蒸發兩種方式作介紹,因為此兩種方式我應用的比較多。電子束蒸發的大優點在于:電子束的光斑可以隨意調整,可以一槍多用,燈絲可以隱藏,避免污染,可以蒸發任意鍍膜材料,維修方便,蒸發速度可以隨意控制,材料分解小,膜密度高。機械強度好。成膜控制系統,薄膜監控目前應用方式比較多,主要有:目視監控法,定(極值)值監控、水晶振蕩監控、時間監控等等。本人主要介紹目視監控、定(極值)監控和水晶振蕩監控三種。目視監控也叫直接監控,就是采用眼睛監控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現象會有顏色變化,我們就是根據顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準確,需要依靠經驗。
全自動汽車燈具鍍膜設備
全自動汽車燈具鍍膜設備主要用于汽車燈具表面蒸鍍鋁反射膜和硅油保護膜,蒸鍍燈具材料有PC、ABS、PBT、PP、PC ABS ASA、PP GF等。
功能包括:在真空室內一次完成高壓離子轟擊前處理、鍍鋁膜和鍍二次保護膜等處理。超硬保護膜提高了鋁層的能力和保持鋁層長久的高反射率。所鍍汽車燈具反射膜達到了汽車燈具國家標準,通過了耐酸、耐堿、耐鹽等試驗。
設備采用計算機系統控制和監控設備運行狀態和鍍膜工藝過程(所監控的數據可以回放),采用PLC控制和觸摸式人機界面,實現鍍膜過程的全自動化,操作簡單,提高了工作效率,保證了產品品質的穩定性和一致性,同時減少了人為因素影響。設備鍍膜質量高,穩定可靠。
真空鍍膜設備鍍膜過程的均勻性到底多重要?
真空鍍膜設備鍍膜過程的均勻性到底多重要? 厚度均勻性主要取決于: 1、基片材料與靶材的晶格匹配程度;2、基片表面溫度;3、蒸發功率,速率;4、真空度;5、鍍膜時間,厚度大小。組分均勻性:蒸發鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發鍍膜的組分均勻性不好。晶向均勻性:1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發速率. 對于不同的濺射材料和基片,參數需要實驗確定,是各不相同的,鍍膜設備的好壞主要在于能否控溫,能否保證好的真空度,能否保證好的真空腔清潔度。MBE分子束外沿鍍膜技術,已經比較好的解決了如上所屬的問題,但是基本用于實驗研究,工業生產上比較常用的一體式鍍膜機主要以離子蒸發鍍膜和磁控濺射鍍膜為主。

真空鍍膜機真空室形變帶來的影響為盡量減小
真空鍍膜機真空室形變帶來的影響 為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐,以吸收和隔離形變,并設置形變補償調節機構,在系統抽真,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下達到平衡。 為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。步,將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經化處理后為用激光自準直儀調變補償。
