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              山東大樣片離子束刻蝕機工作原理服務至上【創世威納】

              發布時間:2020-12-19 07:26  

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              離子屬刻蝕機的注意事項

              創世威納——專業離子束刻蝕機供應商,我們為您帶來以下信息。

              #.在設備工作時,禁止扶、靠設備,禁止觸摸高頻電纜和線圈,以免發生意外

              #.高頻電源實際使用功率不能超過較大限制#.檢查設備時,必須關機后切斷電源

              #. 工作場地必須保持清潔、干燥,設備上及設備周圍不得放置無關物品,特別是易1燃、易1爆物品

              #.長期停放時注意防潮,拆除電源進線,每隔3-5天開一次機,保證反應室真空以免被污 染

              #.設備停機、過夜也要保持反應室真空,如停機較長時間后再進行刻蝕工藝,需先進行一次空載刻蝕,再刻蝕硅片










              刻蝕

              刻蝕,英文為Etch,它是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。是與光刻相聯系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。所謂刻蝕,實際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理,然后通過其它方式實現腐蝕處理掉所需除去的部分。隨著微制造工藝的發展,廣義上來講,刻蝕成了通過溶液、反應離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統稱,成為微加工制造的一種普適叫法。

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              離子束刻蝕機

              具有一定能量的離子束轟擊樣品表面,把離子束動能傳給樣品原子,使樣品表面的原子掙脫原子間的束縛力而濺射出來,從而實現刻蝕目的。這是純粹的物理濺射過程。

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              離子源的主要參數有:①離子束流強。即能夠獲得的有用離子束的等效電流強度,用電流單位A或mA表示。②有用離子百分比。即有用離子束占總離子束的百分比。一般來說,離子源給出的總離子束包括單電荷離子、多電荷離子、各種分子離子和雜質元素離子等的離子束。③能散度。由于離子的熱運動和引出地點的不同,使得離子源給出的離子束的能量對要求的單一能量有一定離散,一般希望能散度盡量小,在的離子束應用中尤其是這樣。④束的聚焦性能。以離子束的截面和張角表示。聚焦不好的離子束在傳輸過程中會使離子大量丟失。獲得良好聚焦特性的離子束的終障礙是束中離子之間的靜電排斥力,為了克服這一障礙,應盡早使離子獲得較高能量。⑤離子源的效率。以離子束形式引出的工作物質占總消耗的工作物質的比例。⑥工作壽命。離子源一次安裝以后使用的時間。










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