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              電子光刻膠報價性價比出眾「在線咨詢」

              發布時間:2020-07-28 05:12  

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              正性光刻膠的操作工藝

              (1)合成醛樹脂。將原料混和甲醛送人不銹鋼釜,加入適量草酸為催化劑,加熱回流反應5~6h,然后減壓蒸餾去除水及未反應的單體酚,得到醛樹脂。(2)合成感光劑。在裝有攪拌器的夾套反應罐中,先將三羥基二苯甲酮和215酰氯加至中攪拌下溶解,待完全溶解后,滴加有機堿溶液做催化劑,控制反應溫度30~35℃,滴加完畢后,繼續反應1h。將反應液沖至水中,感光劑析出,離心分離,干燥。(3)配膠。將合成的樹脂、感光劑與溶劑及添加劑按一定比例混合配膠,然后調整膠的各項指標使之達到要求。后過濾分裝,光刻膠首先經過板框式過濾器粗濾,然后轉入超凈間(100級)進行超凈過濾,濾膜孔徑0.2mm,經超凈過濾的膠液分裝即為成品。


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              光刻膠的核心參數是什么?

              分辨率、對比度和敏感度是光刻膠的核心技術參數。隨著集成電路的發展,芯片制造特征尺寸越來越小,對光刻膠的要求也越來越高。光刻膠的核心技術參數包括分辨率、對比度和敏感度等。為了滿足集成電路發展的需要,光刻膠朝著高分辨率、高對比度以及高敏感度等方向發展。

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              光刻膠的成分

              樹脂:光刻樹脂是一種惰性的聚合物基質 ,是用來將其他材料聚合在一-起的粘合劑。 光刻膠的粘附性、膠膜厚度等都是樹脂給的。

              感光劑:感光劑是光刻膠的核心部分,他對光形式的輻射能,特別在紫外區會發生反應。曝光時間、光源所發射光線的強,度都根據感光劑的特性選擇決定的。

              溶劑:光刻膠中容量較大的成分,感光劑和添加劑都是固體物質,為了方便均勻的涂覆,要將他們加入溶劑進行溶解,形成液態物質,并且使之具有良好的流動性,可以通過選擇方式涂布在waf er表面。

              添加劑:用以改變光刻膠的某些特性,如改善光刻膠發生反射而添加染色劑。

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