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發布時間：2021-09-15 05:54
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(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。
根據使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類：(1)一般水泵，壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。(2)油泵，壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。(3)擴散泵，壓強可達0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
