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一、真空管路或系統內返油 1.油蒸氣返流至真空管路或系統中 2.油飽和蒸汽壓不對 3.停泵時，油返流 4.截留閥板上的密封件毀壞 5.抽支氣管路底端密封件浸蝕或毀壞

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按性能特點和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。

用于較高真空度的羅茨泵不能直接排大氣，因此串聯二級的羅茨泵仍需要一個機械泵或水環泵后級。羅茨泵串聯機組，有兩種配置方式，其一是羅茨泵—羅茨泵—機械泵；其二是羅茨泵—羅茨泵—水環泵。兩種方式均是以一羅茨泵為主泵，而另一羅茨泵為前級，兩羅茨泵抽速關系由經驗確定