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真空鍍膜設備的正常工作條件

真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。

那么，真空鍍膜設備的正常工作條件有哪些？我們一起來看看吧：

1、環境溫度：10~30℃

2、相對濕度：不大于70%

3、冷卻水進水溫度：不高于25℃

4、冷卻水質：城市自來水或質量相當的水

5、供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz（由所用電器需要而定），電壓波動范圍342~399V或198V~231V，頻率波動范圍49~51Hz；

6、設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。

7、設備周圍環境整潔、空氣清潔，不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵埃或氣體存在。

此外，真空鍍膜設備所在實驗室或車間應保持清潔衛生。而且地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵工作時排出的氣體對實驗室環境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設排氣管道（金屬、橡膠管）的辦法，將氣體排出室外。

真空鍍膜設備如何選配真空泵部件

一、在選真空泵時，首先要注意真空泵在工作時產生的振動對工藝和環境是不是存在著影響，如果工藝過程受到影響，應該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時候需要了解待抽氣體的成分，如果需要選擇性的抽氣，一種泵可能不足以滿足要求，必須組合多種不同的泵互相配合工作，如果真空鍍膜設備鍍膜要求無油則要選用無油泵。

二、真空泵的價格和維修費用也是我們考慮的重點之一。

三、真空鍍膜設備對于真空度的極限要求和工作壓力強度要求越來越大，對真空泵的抽真空能力要求就越高，起碼泵的極限抽真空度要高于真空設備工作真空度的半個數量級以上。每種泵都有一定的工作壓強范圍，譬如像擴散泵的壓強為3~10-7mmHg，其穩定工作壓強范圍為5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用擴散泵就不能讓其在未定工作壓強范圍之外工作。

四、當泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候，可優先在單級泵中進行選擇，度過排氣壓力或真空度的要求比較高，單擊泵往往不可以滿足要求，可以選擇使用兩級泵或者多級泵。

真空鍍膜設備的環境要求

由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作，因此該設備要滿足真空對環境的要求。

我國制定的各種真空鍍膜設備的行業標準（包括真空鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備）都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空鍍膜設備對環境的要求，才能使該設備正常運轉，加上正確的鍍膜工藝，方能生產出合格的鍍膜產品。