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真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件

真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。

那么，真空鍍膜設(shè)備的正常工作條件有哪些？我們一起來看看吧：

1、環(huán)境溫度：10~30℃

2、相對濕度：不大于70%

3、冷卻水進(jìn)水溫度：不高于25℃

4、冷卻水質(zhì)：城市自來水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?

5、供電電壓：380V，三相50Hz或220V，單相50Hz（由所用電器需要而定），電壓波動范圍342~399V或198V~231V，頻率波動范圍49~51Hz；

6、設(shè)備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應(yīng)在產(chǎn)品使用說明書上寫明。

7、設(shè)備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔，不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵埃或氣體存在。

此外，真空鍍膜設(shè)備所在實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。而且地面為水磨石或木質(zhì)涂漆地面、無塵埃。為防止機(jī)械泵工作時排出的氣體對實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道（金屬、橡膠管）的辦法，將氣體排出室外。

真空鍍膜設(shè)備如何選配真空泵部件

一、在選真空泵時，首先要注意真空泵在工作時產(chǎn)生的振動對工藝和環(huán)境是不是存在著影響，如果工藝過程受到影響，應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時候需要了解待抽氣體的成分，如果需要選擇性的抽氣，一種泵可能不足以滿足要求，必須組合多種不同的泵互相配合工作，如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無油則要選用無油泵。

二、真空泵的價格和維修費(fèi)用也是我們考慮的重點(diǎn)之一。

三、真空鍍膜設(shè)備對于真空度的極限要求和工作壓力強(qiáng)度要求越來越大，對真空泵的抽真空能力要求就越高，起碼泵的極限抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個數(shù)量級以上。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，譬如像擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為3~10-7mmHg，其穩(wěn)定工作壓強(qiáng)范圍為5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用擴(kuò)散泵就不能讓其在未定工作壓強(qiáng)范圍之外工作。

四、當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候，可優(yōu)先在單級泵中進(jìn)行選擇，度過排氣壓力或真空度的要求比較高，單擊泵往往不可以滿足要求，可以選擇使用兩級泵或者多級泵。

真空鍍膜設(shè)備的環(huán)境要求

由于真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。

我國制定的各種真空鍍膜設(shè)備的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（包括真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設(shè)備、真空濺射鍍膜設(shè)備、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備）都對環(huán)境要求作了明確規(guī)定。只有滿足了真空鍍膜設(shè)備對環(huán)境的要求，才能使該設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)，加上正確的鍍膜工藝，方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。