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發布時間：2021-03-22 16:27
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氦質譜檢漏儀的組成——真空系統
儀器的真空系統提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的檢漏儀其真空系統有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質譜檢漏儀真空系統。
真空系統一般包括：
1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。
2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。
3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，也有專用預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。
4）冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。（4）在氦兩側的離子是氫（質荷比為2）和雙電荷原子碳（質荷比為6），質荷比都與氦相差較大。
5）檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節流閥，控制流入質譜室的氣體流量。
6）真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。
7）標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來校準儀器的可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。
氦質譜檢漏儀的檢漏方法
中科鼎新真空科技（濟南）有限公司——專業氦質譜檢漏儀供應商，我們為您帶來以下信息。
?正壓法
又稱吸槍檢漏，將專用吸槍接在儀器檢漏口上，被檢件充入規定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例氦氮混合氣）。檢漏時，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質譜系統而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦質譜檢漏儀的選擇選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。
氦質譜檢漏儀的應用
氦質譜檢漏儀行業應用氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。
航空航天高科技工業
（1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。
（2）KM6空間環模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。同時，檢漏儀的參量也調整在較佳工作狀態，這時檢漏儀能發揮其較佳的性能。
（3）航天工業中，各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。
氦質譜檢漏儀——檢漏方法
隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業對產品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業中的應用也逐年遞增。
氦質譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數壓力容器而言，通常優先選用前一種方法。如果漏入的氦氣產生的輸出指示的變化小于噪聲和漂移之和，就很難判斷究竟是漏氣信號還是噪聲和漂移指示，因而噪聲和漂移值也就成為能否判斷出漏氣信號的關鍵值。
