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氣浮導軌的結構形式

平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。

重量平衡式導軌：此結構導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。

真空負壓平衡式導軌：該導軌結構簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。

線性導軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導向器。

二是靜壓導軌，根據流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。

三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。

超精機靜壓氣浮導軌是由高精度的靜導軌、動導軌和氣浮軸承等部件組成。為防止微結構設計對氣浮支座造成破壞，應將減阻微結構設計在2毫米的氣孔直徑范圍內，不應小于116-191。高速高壓氣浮軸承在導軌運動時，在動靜壓導軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動形成潤滑膜，使動靜壓導軌表面不直接接觸。氣浮導軌與液壓導軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運動精度高的特點，在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設備中有著廣泛的應用。當氣浮軸承數確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關。

光波超精密空氣導軌——光柵氣浮導軌廠家

由于氣浮軸承將氣體排入導軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和速度也不斷提高，氣浮導軌明顯具有摩擦阻力小、無粘滯、運動精度高的特點，而在超精密機床、坐標測量機等高精密儀器設備中，已廣泛應用。氣體軸承的性能要求：承載能力，承載剛性(承載力變化時承載力每改變一微米)，氣體消耗，抗氣振能力。

當氣浮軸承數確定，氣浮壓力、外荷載不變，動導軌間隙氣膜厚度不變時，由于空氣移動的粘度、動導軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導軌所受的摩擦力與動導軌的速度正相關。基準修正精度永不損失，導軌不用人為修正，補償，高頻雜波信號干擾測量精度高。進入導軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和運動速度也不斷提高，氣浮導軌的摩擦力將對超精密機床的定位精度、系統運動速度產生不可忽視的影響3'。對超精密機床的定位精度和運動速度進行研究，已成為當前研究的熱點[4-6]。

氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。

平面封閉型 重力平衡型 真空預載荷型 圓筒封閉型

(1)平面封閉型：在氣浮方向上設計一對方向相對的兩個氣膜，形成氣膜預加載。適用于高精度、高剛度、大負載的導軌。因為本項目需要高剛度、高精度的技術要求，所以選用平面封閉型

(2)重力平衡型：結構簡單，加工方便，但剛度低，用于負載變動較小的場合；

(3)真空預載荷型：用壓力氣體產生浮力，形成懸浮狀態，用真空發生裝置產生真空以提高剛度，由于真空的吸附作用，使得這種止推導軌具有雙向的剛度，配上x、y兩向驅動，可用單層結構，實現二維運動，即開始結構具有閉式特點，提高了工作臺的工藝性能；

（4)圓筒封閉型：該導軌結構簡單，但加工復雜，圓柱形導軌得圓柱度和溜板的間隙由機械加工決定，對加工工藝要求較高。而承載能力較小，剛度差，常用于輕載。

氣浮導軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節流器導入導軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負載實現平穩運動。

應用行業：電子制造裝備行業中，如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數接近為零，永不i磨損，精度延續性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

制作精良的石料構件，也干了不少導軌。但是多為氣浮導軌，靜壓導軌較少。組裝前，精度一般能達到3、5微米左右，因為加載后精度肯定會發生變化。光波超精密技術研究院——光柵氣浮導軌廠家設備基本配置：裝置主要由高精度花崗石導軌組系統、精密氣浮工作臺系統、移動驅動系統、長導軌電、氣傳輸隨動系統、CCD影像系統、溫度補償系統。加工后再組裝研配，直線度可達到1微米以內，扭曲度可達到1微米以內，平行度可達到1微米以內。刮除時不能破壞產品的度。

可調性是直線滑動導軌特有的優點。依據導軌的使用情況，直線滑行導軌系統都將配備可調邊，有一個或多個。因為運動部件要沿直線導軌的側向運動，必須保證運動部件與導軌的側向緊密接觸，所以導軌要有可調節功能。