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發布時間:2021-10-09 17:23  
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石墨舟有哪些特點?石墨舟是一種槽型石墨舟皿,包括一條或若干條具有相對的兩槽面和底部支撐凸起的向斜槽、底面、上端面、內側面、外側面和與上端面相對的止口,相對的兩槽面上分別設計有至少一條排氣通槽,底部支撐凸起與相對的兩槽面的相交處分別設計有一條棱角保護槽。底面在任兩個相鄰的W型雙向斜槽形成的突出部的下部設計有平行于向斜槽、截面形狀為近似Λ形的通槽。PECVD石墨舟供應