OPTM設備服務介紹

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢！

測量示例：

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態來發送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。



 

　膜厚儀在電氣安全方面按照要求正常使用儀器，就不會對人造成任何危險或損害。膜厚儀包含傳導線電壓的元件，它是按照準則的安全條款設計的。必須遵循儀器安全條款和準則有關儀器操作的規定！　　電源連接為避免損壞儀器,供電電壓必須與膜厚儀銘牌上的電壓一致。儀器必須使用三相插頭連到一個已接地的插座上。

如果膜厚測試儀已經進行了適當的校準，所有的測量值將保持在一定的誤差范圍內；根據統計學的觀點，一次讀數是不可靠的。因此任何由膜厚測試儀顯示的測量值都是五次“看不見”的測量的平均值。這五次測量是在幾分之一秒的時間內由探頭和儀器完成的。