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發布時間:2021-01-19 18:28  
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氣體管路控制系統作用
主要由氣源切換系統、管道系統、調壓系統、用氣點、監控及報警系統組成。對于一些易1燃易1爆氣體,如氫氣等,可能在設計和施工過程中稍有差異,必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。
閥門是在流體系統中,用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設備內的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統中控制部件,用來改變通路斷面和介質流動
方向,具有導流、截止、節流、止回、分流或溢流卸壓等功能。
氣體管路控制系統可以用于管理控制氣體供應,包括流量,壓力,開關等,同時帶有泄漏報警1燈功能,能夠有效保護用氣安全。
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特種氣體的應用
電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。特種氣體使用安全首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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電子特氣管道系統氦檢漏方法
特氣系統氣體管道氦檢漏的順序宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
1、內向檢漏法(噴氦法)采用管道內部抽真空,外部噴氦氣的方法檢漏,測試管路系統的泄漏率。
2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏,測試管路系統的泄漏率。
3、外向檢漏法(吸槍法)應采用管路內部充氦氣或氦氮混合氣,外部應采用吸槍檢查漏點的方法檢漏,測試管路系統的泄漏率。
氦質譜檢漏儀
真空檢漏的方法很多,氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中;
漏率(漏氣速率):是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量;
1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率;
檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態下能檢出的1小漏率;
反應時間:也稱響應時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間;
消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間;
漏孔堵塞現象:指由于真空檢漏作業操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。