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              發(fā)布時(shí)間:2020-12-19 05:30  

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              物理l氣相沉積法主要有真空蒸鍍、濺射和離子鍍。

              真空蒸鍍:在真空中加熱使金屬、合金或化合物蒸發(fā),然后凝結(jié)在基體表面上的方法叫真空蒸鍍。

              濺射:濺射是利用高速正離子轟擊某一靶材(陰極),使靶材表面原子以一定能量逸出,后在工件表面沉積的過程。

              離子鍍:離子鍍借助于一種惰性氣體的輝光放電使欲鍍金屬或合金蒸發(fā)離子化,并在這些荷能離子轟擊基體(工件)表面并同時(shí)沉積在其上形成鍍膜。


              鍍膜工藝流程中工藝參數(shù)的控制和對膜層沉積的影響

              靶基距:靶基距是影響成膜速率的重要因素之一,隨著靶基距增加,被濺射材料射向基片時(shí)與氣體分子碰撞的次數(shù)增多,同時(shí)等離子體密度也減弱,動(dòng)能減少,沉積速率降低,但膜層外觀較好。靶基距太小,沉積太快,工件溫升大,膜層外觀差。

              靶功率;下面說一下陰極真空磁控濺射法,通過磁控濺射,在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃的表面鍍一層或多層金屬、或金屬化合物薄膜。磁控濺射本身粒子初始動(dòng)能比較小,離化率低,電源功率越大,濺射出的粒子的初始能量越大,靶材濺射量也越大,沉積速率越快,膜層容易上厚度和硬度,同時(shí)工件溫升也大,過高的功率會(huì)使沉積速率太快,粒子來不及表面遷移和擴(kuò)散,易形成陰影效應(yīng),膜層會(huì)比較疏松,應(yīng)力較大。



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              利用電阻加熱器加熱蒸發(fā)的優(yōu)點(diǎn):鍍膜機(jī)構(gòu)造簡單,造價(jià)便宜、使用可靠,可用于熔點(diǎn)不太高的材料的蒸發(fā)鍍膜,尤其適用于對膜層質(zhì)量要求不太高的大批量的生產(chǎn)中。電阻加熱方式的缺點(diǎn)是:加熱所能達(dá)到的z高溫度有限,加熱器的壽命也較短。近年來,為了提高加熱器的壽命,國內(nèi)外已采用壽命較長的氮化硼合成的導(dǎo)電陶瓷材料作為加熱器。比如含有j基(Me化學(xué)式-CH3)的化合物,因成分中含有碳?xì)浠鶊F(tuán),都屬于有機(jī)類物質(zhì)。


              電子束蒸發(fā)源的優(yōu)點(diǎn)為:①電子束轟擊熱源的束流密度高,能獲得遠(yuǎn)比電阻加熱源更大的能量密度。可以使高熔點(diǎn)(可高達(dá)3000°C以上)材料蒸發(fā),并且能有較高的蒸發(fā)速度;②由于被蒸發(fā)材料是置于水冷堆鍋內(nèi),因而可避免容器材料的蒸發(fā),以及容器材料與蒸鍍材料之間的反應(yīng),這對提高鍍膜的純度極為重要;利用紅外線光譜吸收分析法,可以了解各種鍍膜原料的內(nèi)部化學(xué)成分,這是區(qū)別真假無機(jī)質(zhì)鍍膜產(chǎn)品的重要科學(xué)依據(jù)。③熱量可直接加到蒸鍍材料的表面,因而熱,熱傳導(dǎo)和熱輻射的損失少。



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