愛德華真空泵代理商吸塑機真空系統「多圖」

渦旋真空泵的主要性能表征參數

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設計精度、加工精度和

裝配精度進行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉速和是否是雙側渦旋共同決定的一

個反映抽氣性能的參數，也叫幾何抽速。假設轉速為n(轉/秒)，并且該禍旋泵

為雙側渦旋，那么Sth可表達為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉子和定子所形成的外層完整內壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實際抽速S要低于理論抽速Sth，設P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進入氣體長期運轉，在測試罩內所能達

到的穩定時的低壓力，用P。表示。此時泵的實際抽速S=O，令式((5.3)中的實際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

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