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發布時間：2021-04-20 04:20
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EM 系列泵是結實耐用的機械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需求。4x10-3Torr進氣口連接ISO40出口連接適用于NW25的25mm法蘭出口壓力0。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉高真空泵 愛德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵
愛德華真空泵維修經過長期工作后經常會出現的問題就是漏油，關于這個問題怎么維修呢？我們要先了解出現故障的原因：1.真空系統或進氣管路讀書或泄露
2.真空泵油被污染或變質
3.排氣過濾器堵塞
4.進氣過濾器或進氣濾網堵塞
5.吸氣閥被污物卡死
6.進氣或排氣管道過長或管徑太小
7.油管泄漏或損壞
8.密封圈或軸封泄漏
9.排氣閥損壞或卡死
10.葉片卡死或損壞
11.轉子和泵體的間隙不對
12.真空泵內部零件損壞愛德華E2M80真空泵
化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。2kW/3hp60Hz3kW/4hp標準油量推薦用油Ultragrade70噪音級別70dB(A)。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內出現任何質量問題我司將對其免費更換。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點卡死，記得致電專業的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
真空泵是一種較為精密的機械設備，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現抽氣量不足或者真空度不高的現象，引起這些現象的原因是很多的。
真空泵真空度降低該怎么辦？
真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環溫度過高(一般不應超過40℃)。
真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調整間隙(一般應為0.15～0.2mm);增加水量并降低進水溫度。
