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根據加工方法的機理和特點，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統的機械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結合加工。利用物理和化學方法，將不同材料結合(bonding)在一起。按結合的機理、方法、強弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動加工，利用力、熱、分子運動等手段，使工件產生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數。

模塊化設計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發展。另外還有環境介質檢測、電機轉速測量、鋼管直徑測量、光盤平面度檢測、磁盤動平衡測量、金屬線膨脹系數測量等。公司發展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。