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              真空檢漏設備廠家的行業須知

              發布時間:2020-07-22 18:29  

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              視頻作者:深圳銳誠真空技術有限公司






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              深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。⑶真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

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              真空自耗電弧爐熔煉作為公司核級鋯材生產的第Yi道工序,其要求的真空度及漏氣率非常嚴格,只有當漏氣率達到0.65 Pa/min 以下才允許熔煉,由于真空自耗電弧爐真空部分包括前級真空泵、大小羅茨泵、真空管道以及上爐室和坩堝部分,真空爐室部分容積大,漏點多的特點,任何一個地方發生微小的漏氣都可能造成真空度降低而無法滿足熔煉工藝要求,因此認為采用上述充壓檢漏法顯然是無法達到檢測要求的,通常采用借助于系統自身的真空系統的真空檢漏法,目前分廠主要采用氦質譜檢漏儀來檢測電弧爐的漏點。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。

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              真空泵

              深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。(2)泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。

              羅茨泵從國外羅茨泵生產情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計才20%,羅茨泵產量不大,但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統,為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵,所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場另外,還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質,實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。其原理是將材料冷凍,使其含有的水份變成冰塊,然后在真空下使冰升華而達到干燥目的。

              分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展,分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。滑閥泵由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。

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              真空設備檢漏

              深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。



              一個真空系統(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現實的,也是沒有必要的,所以就要根據真空系統實際應用的具體條件,對漏率指標提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強低于真空系統工作所需的壓強,這些漏孔就是允許的。真空系統正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡稱允許漏率。此值不僅是設計真空系統的一項主要指標,也是檢漏的依據。主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便。

              如果已知允許的總氣載,而沒有具體指明究竟有多大,那么,在設計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統所允許的總漏率也不同。