天河市VOCs一企一策綜合整治方案辦理在線咨詢「華藍(lán)環(huán)保」

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吸收法:利用吸收液與廢氣接觸，將廢氣中的有害物質(zhì)溶解在吸收液中，凈化廢氣。吸收液另行處理。優(yōu)點:投資小，運行費用低，操作簡單。缺點:處理效率低，不穩(wěn)定，凈化效率低，約50%，難以滿足相關(guān)環(huán)境保護(hù)要求，適用于低濃度有機廢氣，有二次污染。(6)凝結(jié)法:通過凝結(jié)冷卻，溫度低于有害物質(zhì)的凝結(jié)點時，氣體有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為液體，從空氣中分離凈化。優(yōu)點:運行穩(wěn)定，凈化。缺點:投資大，對環(huán)境和操作人員要求高，能耗過大，運行費用高。

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VOCS調(diào)查提前程序中的常見問題和修改建議有哪些？'一廠一策'編制大綱一、企業(yè)概況應(yīng)包括企業(yè)概況(即企業(yè)名稱、地址、所屬行業(yè)、投產(chǎn)時間、主要產(chǎn)品、生產(chǎn)規(guī)模、聯(lián)系方式等)、廠址布置(即主要生產(chǎn)設(shè)施和輔助設(shè)施的布置，如生產(chǎn)車間、生產(chǎn)線、污水處理站、冷卻水系統(tǒng)等)、危險化學(xué)品、原材料和成品的儲存和運輸?shù)龋⒏接袕S址布局圖和廠址平面布置圖)。生產(chǎn)工藝(一)生產(chǎn)工藝流程主要介紹企業(yè)的生產(chǎn)工藝流程及VOCs排放的主要環(huán)節(jié)，附企業(yè)生產(chǎn)工藝流程圖及VOCs排放節(jié)點。

日常監(jiān)督方案1、建立企業(yè)VOCs管理賬戶，建立各企業(yè)VOCs相關(guān)信息管理賬戶，每年更新，VOCs管理設(shè)施應(yīng)按廠家提供方法維護(hù)，填寫主要信息和維護(hù)記錄。例如，活性炭吸附脫附裝置應(yīng)提供活性炭更換頻率和處理方式等，燃燒法VOCs管理裝置應(yīng)提供燃料、燃燒溫度等燃燒條件。2、企業(yè)VOCs排放自我調(diào)查方案各企業(yè)應(yīng)提出VOCs排放環(huán)節(jié)和管理設(shè)施自我調(diào)查方案。有機化工行業(yè)應(yīng)加強冷卻塔、閥門、法蘭、泵和壓縮封、泄壓設(shè)備等設(shè)備的檢查和維護(hù)，建立泄漏修復(fù)技術(shù)(LDAR)，制定泄漏修復(fù)計劃。

有機廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴散等工序，在這些工序中用有機溶液(如)清洗晶片表面，揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一:同時，在光刻、蝕刻等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的，如醋酸丁酯等有毒廢氣主要來源于晶體外延、干法蝕刻和CVD等工序，在這些工序中應(yīng)用(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、、三氯化硼等多種高純度特殊氣體處理晶體，部分特殊氣體具有性、窒息性和腐蝕性。