磁控濺射臺(tái)多重優(yōu)惠

磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點(diǎn)

(1)離子轟擊滲擴(kuò)更快因?yàn)檫x用低溫等離子無(wú)心插柳，為滲劑分子和正離子的吸咐和滲人造就了高寬比活性的表層，提升了結(jié)晶中缺點(diǎn)的相對(duì)密度，比傳統(tǒng)式的汽體滲擴(kuò)技術(shù)性速率明顯增強(qiáng)。連續(xù)式的磁控濺射生產(chǎn)線總體上可以分為三個(gè)部分:前處理,濺射鍍膜,后處理。在一樣加工工藝標(biāo)準(zhǔn)下，滲層深度1在0.05二以內(nèi)，比汽體滲擴(kuò)提升1倍。在較高溫度下，1h就能達(dá)lmm厚。

(2)對(duì)鋼件表層改性材料成效顯著，工藝性能高，真空泵加溫易清除高溫冶煉廠時(shí)融解的汽體，并可根據(jù)滲人金屬材料更改PCB的機(jī)構(gòu)和構(gòu)造，使耐磨性能、耐蝕性、強(qiáng)度和斷裂韌性等眾多特性獲得改進(jìn)。鍍一層薄薄的膜加工工藝中的塑料薄膜薄厚勻稱性，堆積速度，靶材使用率等層面的難題是具體生產(chǎn)制造中非常關(guān)心的。而且因?yàn)榍謇砉πВ菇饘俨牧洗植诙葴p少，除去不銹鋼鈍化的殘?jiān)蛷U棄物，改進(jìn)了金屬材料的工藝性能。 

(3)加工工藝適應(yīng)能力強(qiáng)，有利于解決方式繁雜的鋼件。磁控濺射機(jī)械設(shè)備是目前汽車玻璃膜生產(chǎn)加工中的專業(yè)性，與前期或現(xiàn)如今一些假劣汽車玻璃膜生產(chǎn)商仍在采用的著色劑與鍍鋁復(fù)合性方式來(lái)生產(chǎn)加工窗膜的制作工藝有著本質(zhì)的不同。傳統(tǒng)式的正離子注人技術(shù)性的致命性缺點(diǎn)是注人全過(guò)程是1個(gè)視野全過(guò)程，只能曝露在正離子搶口下的鋼件表層能夠被注人，針對(duì)鋼件中必須表層改性材料的內(nèi)表層或管溝表層等，離子束則很難達(dá)到，而且一回只有注一人鋼件，注人率低，機(jī)器設(shè)備繁雜價(jià)格昂貴

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鍍膜設(shè)備原理及工藝

前處理（清洗工序）

要獲得結(jié)合牢固、致密、無(wú)針1孔缺陷的膜層, 必須使膜層沉積在清潔、具有一定溫度甚至是的基片上。為此前處理的過(guò)程包括機(jī)械清洗(打磨、毛刷水洗、去離子水沖洗、冷熱風(fēng)刀吹凈)、烘烤、輝光等離子體轟擊等。機(jī)械清洗的目的是去除基片表面的灰塵和可能殘留的油漬等異物, 并且不含活性離子, 必要時(shí)還可采用超聲清洗。烘烤的目的是徹底清除基片表面殘余的水份, 并使基片加熱到一定的溫度, 很多材質(zhì)在較高的基片溫度下可以增強(qiáng)結(jié)合力和膜層的致密性。基片的烘烤可以在真空室外進(jìn)行, 也可以在真空室內(nèi)繼續(xù)進(jìn)行, 以獲得更好的效果。但在真空室內(nèi)作為提供熱源的電源應(yīng)有較低的電壓, 否則易于引起放電。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。輝光等離子體轟擊清洗可以進(jìn)一步除去基片表面殘留的不利于膜層沉積的成份, 同時(shí)可以提高基片表面原子的活性。

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(1)工件變形小 由于工件表面均勻覆蓋輝光，溫度一致性好，可以通過(guò)控制功率輸出來(lái)實(shí)現(xiàn)均勻升溫。另陰極濺射抵消了滲人元素引起的尺寸擴(kuò)一大

(2) 滲層的組織和結(jié)構(gòu)易于控制 通過(guò)調(diào)整工藝參數(shù)，可得到單相或多相的滲層組織

(3)工件無(wú)須附加清理 陰極濺射可以有效去除氧化膜，凈化工件表面，同時(shí)真空處理無(wú)新生氧化膜，這些都減少了附加設(shè)備和工時(shí)，降低了成本。

(4) 防滲方便 不需滲的地方可簡(jiǎn)單地遮蔽起來(lái)，對(duì)環(huán)境無(wú)公害，無(wú)污染，勞動(dòng)條件好。

(5) 經(jīng)濟(jì)效益高，能耗小 雖然初始設(shè)備投資較大，但工藝成本極低，是一種廉價(jià)的工程技術(shù)方法。此外，離子轟擊滲擴(kuò)技術(shù)易實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程或滲層質(zhì)量的計(jì)算機(jī)控制，質(zhì)量重復(fù)性好，可操作性強(qiáng)。

磁控濺射鍍膜機(jī)的注意事項(xiàng)

1、保持機(jī)器內(nèi)艙各部位的清潔；

2、關(guān)注真空度指標(biāo)；

3、檢查并記錄抽真空的時(shí)間，如有延長(zhǎng)，立刻檢查造成的原因；

4、記錄濺射功率和時(shí)間（一般濺射機(jī)的銀靶設(shè)定功率為0.6千瓦，金靶的設(shè)定功率為0.75千瓦，鉻的行走速率為9000pps），如有異常，立刻檢查造成的原因；

5、根據(jù)鍍出石英振子的散差，調(diào)整遮擋板的各部尺寸；

6、濺鍍后的石英振子要用3M膠帶檢查其牢固度；

7、測(cè)試并記錄鍍好的石英振子主要指標(biāo)，如：頻率、電阻、DLD等；

8、將不良品挑出：電極錯(cuò)位、劃傷、臟污、掉銀等（工位上要有不良品示意圖）。

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