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真空腔體加工

真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中，是一種能適應高真空環境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井,這些構成一個完整的真空腔體。

相關真空機械加工：超高真空系統典型腔體、真空零部件加工、真空轉接頭、真空連接件。我們的制造工程師具有熟練的加工、焊接高真空和超高真空腔體用材料的能力，如304/304L/316/316L/316LN/410/416，我們有長期加工制造經驗，制作材料有保證。真空腔體的制造從原料采購，制造工藝，焊接方法，表面處理，氦泄漏檢查，焊后加工出來的成品的尺寸測量，還有表面是否有磨砂粒，是否粗糙，是否美觀，是否進行了表面處理，是否符合客戶的一系列系統中的運用,都由我們嚴格把關。真空室材質：304SS、304LSS、316SS、316LSS、 鋁真空等級：基本壓力、可接受的的泄漏率表面處理：機械拋光、電解拋光、化學清洗特殊要求：真空烘烤、殘余氣體分析額外配件：盲板法蘭、旋轉位移器、觀察窗需求檢驗報告：三坐標檢測報告、合格證書、材質證明

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真空腔體的優勢及特性

——按照客戶要求，加工訂制；

——專業出圖設計；

——可配套固定真空機組系統；

——耐高溫、耐腐蝕；

——高質量、高精度；

加工工藝，完全采用真空焊接技術拼裝焊接；

先進的真空撿漏設備，更加保證產品的優越性；

超高真空主要應用在離子鍍膜、高真空半導體設備、實驗室設備等對環境要求極高的真空領域。

真空腔體概述

真空設備包含很多組件，如真空腔體，真空密封傳導件，視口設置，真空傳感器，真空顯示表，沉積系統，蒸發源和蒸發材料，濺鍍靶材，等離子刻蝕設備，離子注入設備，真空爐，真空泵，法蘭，閥門和管件等。真空設備常用于脫氣，焊接，制備薄膜涂層，生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。

基板指的是一個大的法蘭適配器，可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置，可連接到真空抽氣系統。

脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構，一般帶有鉸鏈接口，可連接不需要高真空環境的其他裝置，如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。

輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。

基地井整合了基板和真空密封頸，用焊接接頭取代一個真空密封件，可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。