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發布時間:2020-08-16 09:37  
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無塵車間該如何防止微粒子污染呢?
在高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。而筆者在驗證過程中,曾發現某大型凈化工程在l萬級的凈化級別上采用亞空氣過濾器代替空氣過濾器,從而造成了潔凈度不合格。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。
為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。
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在應用潔凈室技術的相關行業中,電子行業對潔凈及相關受控環境依賴性大,潔凈技術在電子行業應用約占整個潔凈行業市場的67%。在我國,電子行業每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元,其中,以集成電路芯片生產線為代表的微電子行業每年約30億元。另外,平板顯示(FPD)產業作為支撐我國電子信息產業持續發展的戰略性產業,也是潔凈室相關供應商的重要用戶。據調查,世界上面積大的潔凈室即應用于平板顯示行業,一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
潔凈技術對我國電子信息產業發展意義重大,因為它與產品的成品率有著直接關系。電子行業對生產環境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。