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發(fā)布時間:2021-10-10 04:38  
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高純氫氣(PH2)氫氣(H2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。此外,還有一種性質(zhì)極為不穩(wěn)定的氣體,加壓后需溶于溶劑中儲存在鋼瓶內(nèi),這種氣體稱為溶解氣體。氬氣(Ar):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氦氣(He):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
電子氣體的特點
電子氣體(Elect ron ic gases) :半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。2017年,我國工業(yè)新舊動能轉(zhuǎn)換成效初顯,工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級、企業(yè)效益明顯改善。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合,可分為電子級、L S I (大規(guī)模集成電路) 級、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級。