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發布時間:2020-12-16 16:59  
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氦質譜檢漏儀簡介
專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室,使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后,不同質荷比的離子在場中彼此分開,而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起,如果在適當位置安置接收所有這些離子,就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖,這就是質譜。用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。
氦質譜檢漏儀的原理
正常運行時,空氣經過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出,排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質譜檢漏儀,在真空系統的漏點處噴氦氣,由于氦質譜檢漏儀工作時能形成比水環式真空泵更高的真空,因此,漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體,有一部分被吸入到氦質譜檢漏儀,由于氦分子質量與其他分子質量不一樣,通過磁場產生的偏轉磁力不一樣,氦質譜檢漏儀上設計有一狹縫,剛好使氦分子通過而其他分子無法通過,這樣,通過狹縫后的氦分子打在收集板上,通過靶板計數,即可知道通過的分子數泄漏量的相對大小。
真空壓力法氦質譜檢漏的優缺點
真空壓力法的優點是檢測靈敏度高,能實現任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實泄漏狀態。
真空壓力法的缺點是檢漏系統復雜,需要根據被檢產品的容積和形狀設計真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏,或者采取特殊的結構設計將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。
真空壓力法的檢測標準有GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》,主要應用于結構簡單、壓力不是特別高的密封產品,如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應答機、整星產品等。