電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)公司歡迎來(lái)電 沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)

電子束原理介紹

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

電子在電場(chǎng)中會(huì)受力而得到加速、提高能量，產(chǎn)生電子束。電子束焊原理一臺(tái)電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109 eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0.99999999979倍光速。電子經(jīng)增速器加速后，能量可達(dá)到100GeV，電子速度達(dá)到0.999999999987倍的光速。想要了解更多沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司的相關(guān)信息，歡迎撥打圖片上的熱線電話或關(guān)注沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司。這說(shuō)明，電子在這臺(tái)增速器里速度幾乎沒(méi)有增加，而能量增加了4倍。

電子束操作及注意事項(xiàng)

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過(guò)程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動(dòng)真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時(shí)間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對(duì)材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場(chǎng)電源，工作時(shí)操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹

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產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

★加熱：常規(guī)加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)：通過(guò)復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個(gè)工藝步驟

★檢測(cè)與控制光學(xué)特性的功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動(dòng) 半自動(dòng)控制

電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備簡(jiǎn)介

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高真空電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備采用完全封閉的系統(tǒng)框架，結(jié)構(gòu)緊湊，外觀更漂亮，使用更安全。6-10KW e型電子槍可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口，可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。設(shè)備性能技術(shù)指標(biāo)：1、設(shè)備極限真空度：5×10-5Pa（電子槍靜止?fàn)顟B(tài)）。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物（ITO等氧化物）/導(dǎo)電薄膜/光學(xué)薄膜等。