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層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，1塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其它工作區(qū)域。

   20世紀(jì)80年代大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展，大大促進(jìn)了潔凈工程的發(fā)展，集成電路生產(chǎn)工程從64K位到4M位，特征尺寸從2.04m到0.84m。當(dāng)時(shí)根據(jù)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，通常空氣潔凈受控環(huán)境的控制塵粒粒徑與線寬的關(guān)系為1:10，因此潔凈工程工作者研制了超空氣過(guò)濾器，可將粒徑>0.1pm的微粒去除到規(guī)定范圍。根據(jù)大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要，高純氣體、高純水和高純?cè)噭┑纳a(chǎn)工程也得到很快的發(fā)展，從而使服務(wù)于集成電路等高工程產(chǎn)品所需的潔凈工程都得以高速發(fā)展。

ps：技術(shù)人員應(yīng)提前了解如下幾點(diǎn)

（1）項(xiàng)目類(lèi)型：是改造還是新建項(xiàng)目；

（2）結(jié)構(gòu)類(lèi)型：鋼結(jié)構(gòu)、鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)、磚混結(jié)構(gòu)；

（3）土建參數(shù)：層高、板底標(biāo)高、梁底標(biāo)高；

（4）現(xiàn)有條件：水、電、路三通情況如何；

（5）潔凈室項(xiàng)目主要情況（用途、生產(chǎn)規(guī)模、現(xiàn)代化程度、設(shè)備情況、人員安排）；

一個(gè)好的凈化工程，不僅有好的規(guī)劃布局、高的操作標(biāo)準(zhǔn)，更要有可靠的工程團(tuán)隊(duì)、的施工進(jìn)度。選擇專(zhuān)業(yè)的廠房裝修公司，經(jīng)費(fèi)就花對(duì)了一大半。