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發布時間:2020-11-09 12:02  
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真空設備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此長期以來,氦檢漏技術是制冷、空調行業中的檢小漏的手段,吸槍式氦檢漏技術一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業對產品質量的重視,氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏方法(以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。真空箱氫氣檢漏系統的概述本設備適用對空調換熱器、冷凝器、蒸發器、壓縮機、截止閥和冰箱、冷柜、雪融機等制冷行業產品(以下簡稱工件)進行真空法檢漏。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種,由于后者需將設備完全抽成真空狀態,往往會增加試驗用設備(如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝(如外壓加強圈)而使造價提高,所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數壓力容器而言,通常優先選用前一種方法。
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真空設備檢漏
一個真空系統,經相當長時間抽氣之后,仍然達不到預期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統本身的問題。放氣,即真空系統或容器內部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統或被抽容器存在漏孔或縫隙。質量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。至于漏氣是檢漏技術所要解決的問題,即準確檢出漏孔并加以修補。常規檢漏內容包括:用適當的方法判斷真空系統中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補堵漏。
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并預先根據環境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的
位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內部氣體經由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發現漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。采用后一種原理制造的超聲波轉換器不僅在被試驗物加壓時可以使用,在抽真空時,由于吸入的空氣發出超聲波,因而,采用真空法時也可以使用。這種方式適合在待測器件內部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。