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              合肥四氟化碳價錢-純度高 安徽譜純安全可靠

              發(fā)布時間:2021-08-04 20:34  

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              四氟化碳物理性質(zhì) :

                 熔點-183.6℃,

                 分子式是CF4,

                沸點-128.1℃,

                液體密度(-130℃)1.613g/cm3,

                液體折光率(-173℃)1.515,

                固體轉(zhuǎn)變點72.2K,

                臨界溫度-45.67℃,

                臨界壓力3.73MPa,

                 蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa

                介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006

                臨界密度:7.1dm3/mol

                標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能:-929.84 kJ/mol

                標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol

                 危險性類別:第2.2類不燃氣體




              反應(yīng)放熱后,氟開始和碳化硅進行反應(yīng),通入等體積的干燥氮氣以稀釋氟氣,使反應(yīng)繼續(xù)進行,生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化。四氟化碳有時會用作低溫冷卻劑。它可用于電路板的制造,以及制造絕緣物質(zhì)和半導(dǎo)體。它是用作氣體蝕刻劑及等離子體蝕刻版。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。





              隨著芯片制程向7納米邁進,細微雜質(zhì)對芯片的損害更為明顯,電子產(chǎn)業(yè)對高純電子氣體的純度要求進一步提高,在此背景下,我國高純四氟化碳生產(chǎn)技術(shù)與產(chǎn)品質(zhì)量仍有提升空間。四氟化碳貯存注意事項:氣瓶使用和檢驗遵照《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。氣瓶內(nèi)的氣體不能全部用盡,應(yīng)該留不小于0.04MPa剩余壓力。我國人工智能、物聯(lián)網(wǎng)市場仍在不斷擴大,光伏發(fā)電累計裝機容量不斷上升,預(yù)計2020-2025年,我國高純四氟化碳市場需求將繼續(xù)以10.0%以上的增速增長。


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