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              NR73G 6000P光刻膠價格廠家直供「賽米萊德」

              發(fā)布時間:2021-08-12 18:35  

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              光刻膠介紹

              光刻膠介紹

              光刻膠是一種對光線、溫度、濕度十分敏感的材料,可以在光照后發(fā)生化學(xué)性質(zhì)的改變,這是整個工藝的基礎(chǔ)。

              光刻膠有不同的類型,PMMAPMGI)以及DNQ(酚醛樹脂)等材料都可以做光刻膠。

               目前光刻膠市場上的參與者多是來自于美國、日本、韓國等國家,包括 FUTURREX、陶氏化學(xué)、杜邦、富士膠片、信越化學(xué)、住友化學(xué)、LG化學(xué)等等,中國公司在光刻膠領(lǐng)域也缺少核心技術(shù)。

               


              PR1-2000A1NR73G 6000P光刻膠價格

              4,曝光

              前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機上,經(jīng)與光刻版對準后,進行曝光,接受光照的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化,形成潛影,

              光源與光刻膠相匹配,也就是光源波長在光刻膠的敏感波段;

              對準:指光刻板上與襯底的對版標記應(yīng)準確對準,這樣一套光刻版各版之間的圖形才能彼此套準。

              曝光時間,由光源強度,光刻膠種類,厚度等決定,

              另外,為降低駐波效應(yīng)影響,可在曝光后需進行烘焙,稱為光后烘焙(PEB


              NR77-25000PNR73G 6000P光刻膠價格

              表征光刻膠特性和性能、質(zhì)量的參數(shù)有以下三個:
              (1)光學(xué)性質(zhì)。光刻膠的光學(xué)性質(zhì)包括光敏度和折射率。NR9-3000PY相對于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢:-優(yōu)異的分辨率性能-快速地顯影-可以通過調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度-耐受溫度100℃-室溫儲存保質(zhì)期長達3年。
              (2)力學(xué)特性和化學(xué)特性。光刻膠的力學(xué)特性和化學(xué)特性包括膠的固溶度、黏滯度、黏著度、抗蝕(刻蝕、腐蝕)性、熱穩(wěn)定性、流動性和對環(huán)境氣氛(如氧氣)的敏感度。
              (3)其他特性。光刻膠的其他特性包括膠的純度、膠內(nèi)的金屬含量、膠的可應(yīng)用范圍、膠的儲存有效期和膠的燃點。


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              正性光刻膠的金屬剝離技術(shù)

              正性膠的金屬剝離工藝對于獲得難腐蝕金屬的細微光刻圖形比常規(guī)的光刻膠掩蔽腐蝕法顯示了優(yōu)越性。本文首先對金屬剝離工藝中的正、負光刻膠的性能作了對比分析。兩種標準對超凈高純化學(xué)品中金屬雜質(zhì)和(塵埃)微粒的要求各有側(cè)重,分別適用于不同級別IC的制作要求。認為正性光刻膠除圖形分辨率高而適應(yīng)于微細圖形的掩膜外,它還具有圖形邊緣陡直, 去膠容易等獨特性能,比負性光刻膠更有利于金屬剝離工藝。然后給出了具體的工藝條件,并根據(jù)正性光刻膠的使用特點指出了工藝中的關(guān)鍵點及容易出現(xiàn)的問題。如正性光刻膠同GaAs表面的粘附性較差,這就要求對片子表面的清潔處理更為嚴格。為了高止光刻圖形的漂移控制光刻圖形的尺寸,對曝光時同特別是顯影液溫度提出了嚴格的要求。由于工藝中基本上不經(jīng)過腐蝕過程,膠膜的耐腐蝕性降到了次要地位。


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