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發布時間：2020-12-15 17:00
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真空檢漏
真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。
漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變為puSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數)，要得到低的極限壓力便應降低漏氣量，檢漏便是關鍵的措施。
漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率(在規定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側重于對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。
氦檢漏設備的注意事項
深圳銳誠真空專業生產、銷售氦檢漏設備，以下信息由深圳銳誠真空為您提供。
1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。
2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。
3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。
4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進譜檢漏儀，應立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。
如何選擇真空檢漏儀
一．對檢漏方法的一般要求
1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；
2.反應時間短，可以提高工作效率；
3.能定位、定量，即不經能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；
4.能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；
5.穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；
6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；
8.檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求
二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則
1.主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；
2.根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。
檢漏儀的保養注意事項
1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統保持真空，縮短儀器使用時的開機時間
2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。
3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。
4.檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）
5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師，才能使用此儀器。
6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發現問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。
