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發布時間:2020-07-25 13:58  
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氦氣質譜檢漏的用方法
氦質譜檢漏-真空法,真空法首要應用于真空密封功能要求,但不帶壓工作的產品,如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。特氣管道試壓1、管道試壓前應全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等,質量應符合設計要求及技術規范的規定。真空法檢測靈敏度高,能夠準確定位,能完成大容器或雜亂結構產品的檢漏??墒侵荒芡瓿梢粋€大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產品的實在走漏狀況。
選用真空法檢漏時,需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空,選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產品外外表施氦氣,當被檢產品外表有漏孔時,氦氣就會經過漏孔進入被檢產品內部,再進入氦質譜檢漏儀,然后完成被檢產品走漏量丈量。但是當溫度高到足以使藥1物發揮最1大作用時,在升高溫度,則殺菌效果亦不再提高。依照施漏氣體辦法的不同,又能夠將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其間真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產品外外表噴吹氦氣,能夠完成漏孔的準確定位; 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產品悉數罩起來,在罩內充溢必定濃度的氦氣,能夠完成被檢產品總漏率的丈量。
電子特種氣體的介紹
電子特種氣體和半導體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業息息相關,與濕電子化學品一樣是電子元器件的上游原材料之一。壓縮氣體容器內容積(升)×充填壓力(公斤/厘米2)/1000=米3液化氣體容器的充填質量(公斤)。其廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝中,與生產設備配套使用。特別是在超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過450道,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。
特種氣體充裝要點
一、永1久性氣體的充裝
1、專業培訓、持證上崗、遵守規程。
2、佩戴防護用品、檢查設備。
3、對鋼瓶復查、檢查氣密性。
4、開啟總閥,準備充氣。
5、充裝時的檢查。
6、發現問題的處理。
7、壓力大于12.5MPa時,禁止進入。
8、確定高充裝壓力。
9、切換總閥,分類堆放好。
基準溫度:是由氣體產品標準規定的基準充裝標準溫 度。我國規定是20℃