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發布時間：2020-11-04 07:06
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廣州帕納光電科技有限公司----高真空渦輪分子泵維修；
極限真空能滿足分子泵的前級耐壓需求，且干式無油不會影響真空背景環境，無需換油，維護成本低。無油隔膜前級泵，適配于多種分子泵， 隔膜泵更是能實現馬達轉速自動優化，不僅干式無油無污染，噪音低，而且節能省耗，維護成本低。同時，高真空渦輪分子泵維修無油隔膜泵也適用于所有粗真空應用，尤其是在耐化學腐蝕方面性能突出，表現優異！我們為此專門制造的樣泵多達1000余臺，對各項結構和功能參數進行了廣泛測試和分析。
泵不排液，灌泵不足（或泵內氣體未排完）處理方法：重新灌泵；
泵轉向不對
處理方法：檢查旋轉方向；
泵轉速太低
處理方法：檢查轉速，提高轉速；
濾網堵塞，底閥不靈
處理方法：檢查濾網，消除雜物；
吸上高度太高，或吸液槽出現真空
處理方法：減低吸上高度；檢查吸液槽壓力。
廣州帕納光電科技有限公司----高真空渦輪分子泵維修；
分子泵在半導體機械設備中的運用
在半導體材料生產加工加工工藝中，分子泵廣泛運用于光刻技術、塑料薄膜堆積機器設備、離子注入機器設備、離子注入機等主要設備。高真空渦輪分子泵維修
光刻技術是生產制造規模性集成電路芯片的關鍵機器設備，生產制造和維護保養必須高寬比的電子光學和電子工業基本，全世界僅有數生產廠家把握，因而光刻機價格價格昂貴。原因：防護網，前級管道解決方法：優化系統設計真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道。光刻技術光刻技術全過程務必在高真空中完成，緣故是極紫外線很嬌氣，在空氣中非常容易耗損。另外，在光刻技術全過程中，機器設備的姿勢時間誤差以皮秒激光計，這對磁懸浮分子泵的震動值規定極高。（注：皮秒激光=兆分之一秒）高真空渦輪分子泵維修
有安全防護網維護,為何還會繼續有塊狀玻璃渣落入泵內?
緣故：安全防護網裂開，前面管路裂開。
解決方案:優化軟件設計方案。高真空渦輪分子泵維修
真空值非常好的狀況下，分子泵油為什么會退到前面管路?
緣故：油池裂開或密封性欠佳。
解決方案：查驗油池。高真空渦輪分子泵維修
