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發布時間:2020-07-24 18:49  
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磁控濺射鍍膜機
目前認為濺射現象是彈性碰撞的直接結果,濺射完全是動能的交換過程。當正離子轟擊陰極靶,入射離子當初撞擊靶表面上的原子時,產生彈性碰撞,它直接將其動能傳遞給靶表面上的某個原子或分子,該表面原子獲得動能再向靶內部原子傳遞,經過一系列的級聯碰撞過程,當其中某一個原子或分子獲得指向靶表面外的動量,并且具有了克服表面勢壘(結合能)的能量,它就可以脫離附近其它原子或分子的束縛,逸出靶面而成為濺射原子。連續式的磁控濺射生產線總體上可以分為三個部分:前處理,濺射鍍膜,后處理。
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磁控濺射鍍膜的優點
磁控濺射鍍膜是現代工業中不可缺少的技術之一,磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用于透明導電膜、光學膜、超硬膜、抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,在國1防和國民經濟生產中的作用和地位日益強大。鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性,沉積速率,靶材利用率等方面的問題是實際生產中十分關注的。磁控濺射鍍膜儀廠家帶你了解更多!磁控濺射技術鍍膜磁控濺射技術鍍膜是一種重要的物理的氣相沉積鍍膜技術,這種工藝可工業化批量生產。
磁控濺射技術發展過程中各項技術的突破一般集中在等離子體的產生以及對等離子體進行的控制等方面。通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數的控制,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的電磁場設汁等。
濺射鍍膜膜厚均勻性是間接衡量鍍膜工藝的標準之一,它涉及鍍膜過程的各個方面。因此,制備膜厚均勻性好的薄膜需要建立一個濺射鍍膜膜厚均勻性綜合設計系統,對濺射鍍膜的各個方面進行分類、歸納和總結,找出其內在聯系。
磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊ya氣產生離子的概率。所產生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。
用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點火和濺射很方便。這是因為靶(陰極),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。
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真空鍍膜機的未來發展策略
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1、目前實體經濟走勢整體疲弱,復蘇充滿不確定性,經濟處于繼續探底過程,真空鍍膜設備制造企業應著力進行產業結構優化升級,重質量、重服務明確市場定位,大力研發擁有自主知識產權的新產品新工藝,提高產品質量和服務水平。
2、依托信息化發展趨勢,堅持“以信息化帶動工業化,以工業化促進信息化”,走出一條科技含量高、經濟效益好、資源消耗低、環境污染少、人力資源優勢得到充分發揮的新型工業化路子。
3、依托政府支持,大力加強與擁有行業先進技術和工藝水平的科研院所、大型企業、高校合作,使得新品能迅速推向市場。
真空鍍膜技術及設備擁有十分廣闊的應用領域和發展前景。未來真空鍍膜設備行業等制造業將以信息化融合為重1心,依靠技術進步,更加注重技術能力積累,制造偏向服務型,向世界真空鍍膜設備行業等制造業價值鏈高1端挺進。
直流濺射法
濺射過程中涉及到復雜的散射過程和多種能量傳遞過程:入射粒子與靶材原子發生彈性碰撞,入射粒子的一部分動能會傳給靶材原子;某些靶材原子的動能超過由其周圍存在的其它原子所形成的勢壘(對于金屬是5-10 eV),從而從晶格點陣中被碰撞出來,產生離位原子;同時被濺射出的二次電子在陰極暗區被加速,在飛向基片的過程中,落入設定的正交電磁場的電子阱中,直接被磁場的洛倫茲力束縛,使其在磁場B的洛倫茲力作用下,以旋輪線和螺旋線的復合形式在靶表面附近作回旋運動。這些離位原子進一步和附近的原子依次反復碰撞,產生碰撞級聯;當這種碰撞級聯到達靶材表面時,如果靠近靶材表面的原子的動能大于表面結合能(對于金屬是1-6eV),這些原子就會從靶材表面脫離從而進入真空。