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發布時間:2020-11-05 02:10  
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真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
真空鍍膜機工作的環境要求:
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。
借助一種惰性氣體的輝光放電使金屬或合金蒸汽離子化。離子鍍包括鍍膜材料(如TiN,TiC)的受熱、蒸發、沉積過程。
蒸發的鍍膜材料原子在經過輝光區時,一小部分發生電離,并在電場的作用下飛向工件,以幾千電子伏的能量射到工件表面,可以打入基體約幾納米的深度,從而大大提高了涂層的結合力,而未經電離的蒸發材料原子直接在工件上沉積成膜。惰性氣體離子與鍍膜材料離子在工件表面上發生的濺射,還可以清除工件表面的污染物,從而改善結合力。
物理氣相沉積(PVD)是一項眾所周知的技術,廣泛應用于薄膜沉積,涉及許多方面,包括摩擦學性能改善,光學增強,視覺/美學提升以及許多其他領域,涉及范圍廣泛。已經建立的應用程序。加工工具可能是該沉積技術的常見應用之一,有時與化學氣相沉積(CVD)結合使用,以延長其使用壽命,減少摩擦并改善熱性能。然而,CVD工藝在較高的溫度下進行,從而在涂層和基材中產生較高的應力,基本上僅在需要使用該工藝沉積所需的涂層時才使用。為了改進此技術,已進行了多項研究,以優化PVD技術,方法是增加等離子體電離,減少暗區(反應器中沒有沉積物的區域),改善靶材的使用,提高原子轟擊效率,甚至提高沉積速率并優化氣體選擇。
PVD是一種出色的真空鍍膜工藝,可改善耐磨性和耐腐蝕性。它對于功能性應用非常需要,例如工具,裝飾件,光學增強,模具,模具和刀片。這些只是各種各樣已經建立好的應用程序的幾個例子。
此技術中使用的設備維護成本低,并且對環境無害。PVD涂層的好處很多。如PVD可以提供真正獨特的優勢,從而增加產品的耐用性和價值。沉積技術在機加工過程中具有重要作用。
機加工工具可能是緊急的應用之一,需要一些特性,例如高溫下的硬度,高耐磨性,化學穩定性,韌性和剛度。此外,PVD還能夠生產具有優異附著力,均勻層,設計結構,漸變特性,可控形態,材料和特性的高度多樣性的涂層。