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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。球桿儀是由儀感器、磁性杯、磁性中心架、球節、磁性工具杯、球桿傳遞器等組成。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

雙頻激光干涉儀

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展而來的一種外差式干涉儀。

在激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生f1和f2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。當有其他不同角度、位置或不同長度的測針按照以上方法校驗后，有各擬合球中心點坐標差別，就得出各個測頭之間的位置關系，三坐標測量軟件自動生成測頭關系。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。

球桿儀

基本介紹“干涉測量法”是一種利用波的干涉現象（常見的波有光波，無線電波或聲波）進行測量的一種方法。測量可能涉及對波本身的某些特性以及與波相互作用的材料的測量。此外，“干涉測量法”用于描述通過光波研究位移變化的技術。校準值比名義值小的原因：在了解測頭校準的原理后，我們就很容易解釋測針校準值比名義值小的原因了。在精密加工中廣泛采用這一位移干涉測量法來校準和控制機械臺運動。