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影響鍍膜機(jī)磁控靶點(diǎn)火電壓的因素有哪些

靶材對(duì)點(diǎn)火電壓的影響

(1)陰極靶材的不同材質(zhì)，因?yàn)R射的能量閥值的不同，一般濺射“逸出功”較小的陰極靶材，其點(diǎn)火電壓和工作的電壓要低一些，反之則會(huì)高一些。(2)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵等)和鐵素體靶材，會(huì)偏轉(zhuǎn)和減少陰極濺射靶面磁場(chǎng)對(duì)磁控靶造成影響。靶面磁場(chǎng)的降低，使磁控靶需要很高的電壓才能點(diǎn)火起輝。(3)點(diǎn)火電壓與磁控靶靶材濺射面積和真空腔體的機(jī)械尺寸大小有關(guān)。靶材濺射面積大，或是真空腔體的機(jī)械尺寸大，相應(yīng)充入工作氣體的數(shù)量值較多，在同一陰-陽(yáng)極電壓下，工作氣體例如氣電離出導(dǎo)電正離子和電子亦增多，導(dǎo)致點(diǎn)火電壓下降(在鍍膜時(shí)還會(huì)造成磁控靶濺射電壓一定程度上的降低)。

磁控濺射鍍膜靶電源的空載電壓

(1)靶電源輸出的空載電壓主要供磁控靶“點(diǎn)火起輝”用，其峰值電壓大體可分為三擋，即：800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大約在5KW以下的靶電源輸出空載電壓的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶電源其輸出的空載電壓的峰-峰值Vp-p大約在800~1KV;且電源功率越大,其輸出的空載電壓越接近偏小值。(3)鐵磁性靶材(鐵、鈷、鎳、氮化鐵)以及其它鐵素體靶材，在選用靶電源輸出的空載電壓時(shí)，須選擇靶電源輸出空載電壓峰-峰值Vp-p范圍的偏大數(shù)值。

瓷磚真空鍍膜設(shè)備

經(jīng)瓷磚真空鍍膜設(shè)備加工后的瓷磚更具有光澤，耐磨指數(shù)大大提高，可以生產(chǎn)仿金色、玫瑰金色、銀白色、黑色等膜層。瓷磚真空鍍膜設(shè)備主要用于瓷磚、瓷片、陶瓷磚等離子鍍膜。該系列設(shè)備主要配置為陰極電弧蒸發(fā)源，也有配偏壓電源，也有配磁控濺射靶。設(shè)備特點(diǎn)：配強(qiáng)大抽氣系統(tǒng)，抽氣快，裝載量大，產(chǎn)能高，生產(chǎn)成本低。可以生產(chǎn)仿金色、玫瑰金色、銀白色、黑色等膜層；采用貼花紙和涂覆水溶性涂料遮擋技術(shù)可以得到各種彩色花紋圖案。經(jīng)瓷磚真空鍍膜設(shè)備加工后的瓷磚更具有光澤，耐磨指數(shù)大大提高。

PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè)

PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時(shí)使工件更耐磨耐腐蝕延長(zhǎng)其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數(shù)，提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。

影響鍍真空鍍膜機(jī)為塑料件鍍膜時(shí)抽真空時(shí)間長(zhǎng)的原因

影響鍍真空鍍膜機(jī)為塑料件鍍膜時(shí)抽真空時(shí)間長(zhǎng)的原因磁控靶點(diǎn)火電壓的幾個(gè)因素 在工作氣體種類、成分、氣壓和陰極材料已確定及其它條件不變的條件下，鍍膜機(jī)陰-陽(yáng)兩極間的氣體放電點(diǎn)火電壓的高低可由巴-刑定律來(lái)說(shuō)明，氣體點(diǎn)燃電壓Uz不僅和氣壓P、極間距d有關(guān)，而且和P與d的乘積有關(guān)(即Uz是P×d乘積的函數(shù)，不是單獨(dú)是P或d的函數(shù))。巴-刑曲線的左側(cè)與下側(cè)是不能形成自持放電區(qū)域;右上側(cè)是可以形成穩(wěn)定自持放電區(qū)域;磁控濺射通常工作在巴-刑曲線的左支。利用這個(gè)規(guī)律，在放電部件(磁控靶、引出電極等)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中，通過(guò)調(diào)整結(jié)構(gòu)間隙的手段來(lái)控制各電極對(duì)屏蔽罩、金屬腔體間的放電和打弧。