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真空設備氦檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。真空檢漏設備真空檢漏設備深圳銳誠真空技術多年技術經驗，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~以上就是關于真空泵真空設備檢漏維修的相關內容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養。

真空檢漏設備真空檢漏設備

(1)工作原理與結構

   氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。

   ①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀

   現以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀。

   在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；級放大靜電計管和冷陰極電離規。。

   在離化室N內，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉半徑可計算。

   可見，當B和U為定值時，不同質荷比me-1的離子束的偏轉半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調節加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2，所以被分離出來。絕dui壓力表示讀數是絕dui值，即讀數愈靠近‘0'，真空度愈高。(me-1)2=4，即He 的質荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

   ②雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀

  由于兩次分析，減少了非氦離子到達收集器的機率。并且，如在兩個分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設置加速電場，使離子在進入第二個分析器前再次被加速。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。那些與氦離子動量相同的非氦離子，雖然可以通過個分析器，但是，經第二次加速進入第二個分析器后，由于其動量與氦離子的不同而被分離出來。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。

   ③逆流氦質譜檢漏儀

   逆流氦質譜檢漏儀是根據油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理制成的。例如，多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102；對空氣中其它成分的壓縮比為lO4～106。檢漏時，通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣，仍有部分返流到質譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。抽氣速率在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。這就是逆流氦頃質譜檢漏儀的工作原理。

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真空設備檢漏

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。2)抽氣量:無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中。主營產品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養。

檢漏就是用一定的手段將示漏物質加到被檢設備或密封裝置器壁的一側，用儀器或某一方法在另一側懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質，從而達到檢測的目的。檢漏的任務就是在制造、安裝、調試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉使用過程中監視系統可能發生的泄漏及其變化。在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的最jia工作真空度。

氦質譜檢漏儀吸嘴法

用于真空殘余氣體分析的質譜儀都可以用來檢漏（其示漏物質有氫、氦、ya等），但檢漏靈敏度各不相同。專門用來檢漏的質譜儀叫質譜檢漏儀。其特點是靈敏度高，性能穩定。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。特別是用氦做示漏氣體的氦質譜檢漏儀，是真空檢漏中靈敏度gao、用得普遍的一種檢漏儀器。

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